"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Получение углеродных пленок методом близкого переноса
Хомченко В.С.1, Сопинский Н.В.1, Савин А.К.1, Литвин О.С.1, Заяц Н.С.1, Хачатрян В.Б.1, Корчевой А.А.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева НАН Украины, Киев, Украина
Email: vsk@isp.kiev.ua
Поступила в редакцию: 27 июля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2008 г.

Впервые пленки углерода получены простейшим, экологически чистым, модифицированным методом сублимации с близкого расстояния при атмосферном давлении. Пленки углерода были нанесены на кварцевые, стеклянные, ситалловые и кремниевые подложки. Детально исследованы основные свойства пленок, такие как скорость роста, морфология и структура пленок, оптические свойства, зависимость этих характеристик от температуры осаждения и материала подложки. Для исследования были использованы различные методы --- рентгенодифракционный, микроскопии атомных сил, многоугловой эллипсометрии, измерения спектров пропускания и отражения в видимой и ближней УФ-областях. Скорость роста составляла 5 nm/min при температуре зарождения пленки 800oC. Толщина пленок варьировалась от 0.2 до 2.2 mum. Минимальная шероховатость поверхности образцов --- 0.5 nm. Показатель преломления пленок варьируется от 1.3 до 1.8 в зависимости от условий получения и последующей термообработки. Оптическая ширина запрещенной зоны составляет 5.4 eV. PACS: 81.05.Uw, 81.15.-z, 68.55.-a, 78.20.Ci
  • Popov C., Rulish W., Jelineck M. et al. // Thin Solid Films. 2006. Vol. 494. N 1--2. P. 92--97
  • Shirakura A. et al. // Thin Solid Films. 2006. Vol. 494. N 1--2. P. 84--91
  • Ястребов С.Г., Иванов-Омский В.И., Рихтер А. // ФТП. 2003. Т. 37. Вып. 10. С. 1193--1196
  • Клюй Н.И., Литовченко В.Г., Лукьянов А.Н. и др. // ЖТФ. 2006. Т. 76. Вып. 5. С. 122--126
  • Givargizov E.I., Zhirnov V.V., Stepanova A.N. // Appl. Surf. Sci. 1995. Vol. 87--88. P. 24--30
  • Иванов-Омский В.И., Толмачев А.В., Ястребов С.Г. // ФТП. 2001. Т. 35. Вып. 2. С. 227--232
  • Звонарева Т.К., Лебедев В.М., Полянская Т.А. и др. // ФТП. 2000. Т. 34. Вып. 9. С. 1135--1141
  • Myong Hyun S., Park Yong S. et al. // Thin Solid Films. 2006. Vol. 494. N 1--2. P. 123--127
  • Семенов А.П., Белянин А.Ф., Семенова И.А. и др. // ЖТФ. 2004. Вып. 5. С. 101--104
  • Schultrich B. // Adv. Eng. Mater. 2000. Vol. 2. P. 419--423
  • Хомченко В.С., Сопинский Н.В., Савин А.К. и др. // Тр. IV Междунар. конф. "Материалы и покрытия в экстремальных условиях" (MEE-2006). Крым, Украина, 2006. С. 220
  • Abbas Shan N., Ali A., Ali Z. et al. // J. Cryst. Growth. 2005. Vol. 284. N 3--4. P. 477--485
  • Бережинский Л.И., Сопинский Н.В., Хомченко В.С. // ЖПС. 2001. Т. 68. Вып. 1. С. 103--109
  • Кокс Д., Хасс Г. // Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения / Под ред. Г. Хасса и Р.Э. Туна. Т. 2. М.: Мир, 1967. С. 186--253. (Physics of thin films. Acvances in Research and Development / Ed. by G. Hass and R.E. Thun. V. 2. N.Y.; London: Academic Press, 1964)
  • Физические свойства алмаза. Справочник / Под ред. В.Н. Новикова. Киев: Наук. думка, 1987. 192 с
  • Звонарева Т.К., Шаронова Л.В. // ФТП. 1999. Вып. 6. С. 742--746
  • Ястребов С.Г., Гаррига М., Алонсо М.И., Иванов-Омский В.И. // ФТП. 2003. Т. 37. Вып. 10. С. 1241--1243
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.