Детально проанализирован коэффициент отражения плоской монохроматической волны, линейно поляризованной в плоскости падения, от трехслойной структуры. Решена обратная задача эллипсометрии для трехслойной структуры. Показано существование двух инвариантов коэффициента отражения для плоскопараллельной пластины. Предложен набор трех измеряемых параметров, не используемых ранее, позволяющий восстановить материальные параметры слоя. Получены аналитические выражения как для коэффициента отражения и углов падения для ряда важных частных случаев, так и для прямого расчета диэлектрической проницаемости и толщины слоя по измеренным значениям наблюдаемых параметров. Ключевые слова: инвариант коэффициента отражения, обратная задача эллипсометрии, угол Брюстера, тонкие пленки.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.