Измерение геометрических параметров мощного ИК лазерного луча в прифокальной области для применений в лазерно-плазменном источнике коротковолнового излучения
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Излучательные характеристики источника на основе плотной Xe лазерной плазмы в диапазоне длин волн 11-12 нм и методы его оптимизации, 18-08-00716
Белашов А.В.
1, Буторин П.С.1, Задиранов Ю.М.
1, Калмыков С.Г.
1, Максимов В.А.1, Сасин М.Э.
1, Сердобинцев П.Ю.2,3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
3Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: belashov.andrey.93@gmail.com, butorin_ps@mail.ru, zadiranov@mail.ioffe.ru, serguei.kalmykov@mail.ioffe.ru, vlaadmaks@gmail.com, sasin@ffm.ioffe.ru, serdobintsev@rambler.ru
Выставление онлайн: 24 мая 2020 г.
Измерения геометрических параметров мощного ИК лазерного луча были выполнены тремя методами. Полученные результаты находятся в удовлетворительном согласии друг с другом. При фокусировке лазерного луча с длиной волны 1.064 μm специально сконструированным безаберрационным объективом удается получить фокальное пятно с диаметром около 40 μm, при этом длина "перетяжки" составляет 230-280 μm. Измеренные параметры дают представление о размерах лазерной плазмы, создаваемой этим лучом на газовой Xe-микроструе. Ключевые слова: лазерная плазма, лазер, фокус, каустическая поверхность, перетяжка, абляция.
- Fiedorowicz H., Bartnik A., Patron Z., Parys P. // Appl. Phys. Lett. 1993. V. 62. N 22. P. 2778
- Fiedorowicz H., Bartnik A., Patron Z., Parys P. // Laser Part. Beams. 1994. V. 12. N 3. P. 471
- Bakshi V. // EUV Lithography. / Ed. by Bakshi V. Bellingham, Washington, USA: SPIE Press, 2007. Ch. 3
- Banine V., Moors R. // Proc. 2011 Int. Workshop on EUV and SXR Sources, Nov. 7-10, 2011, Dublin, Ireland, 2011. S8. https://www.euvlitho.com/2011/S8.pdf
- Chkhalo N.I., Salashchenko N.N. // AIP Advances. 2013. V. 3. N 8. P. 082130
- Bogachev S., Chkhalo N., Kuzin S., Pariev D., Polkovnikov V., Salashchenko N., Shestov S., Zuev S. // Appl. Opt. 2016. V. 55. N 9. P. 2126
- Chkhalo N., Gusev S., Nechay A., Pariev D., Polkovnikov V., Salashchenko N., Schafers F., Sertsu M., Sokolov A., Svechnikov M., Tatarsky D. // Opt. Lett. 2017. V. 42. N 24. P. 5070
- Буторин П.С., Задиранов Ю.М., Зуев С.Ю., Калмыков С.Г., Полковников В.Н., Сасин М.Э., Чхало Н.И. // ЖТФ. 2018. Т. 88. В. 10. С. 1554
- Chkhalo N., Garakhin S., Lopatin A., Nechay A., Pestov A., Polkovnikov V., Salashchenko N., Tsybin N., Zuev S. // AIP Advances. 2018. V. 8. N 10. P. 105003
- Буторин П.С., Калмыков С.Г., Сасин М.Э. // Письма в ЖТФ. 2018. Т. 44. В. 23. С. 111
- Kalmykov S.G., Butorin P.S., Sasin M.E. // J. Appl. Phys. 2019. V. 126. N 10. P. 103301
- Осипов В.В., Орлов А.Н., Каширин В.И., Соломонов В.И., Коротаев А.В. // Квант. электроника. 1999. Т. 28. В. 2. С. 157
- Задиранов Ю.М., Калмыков С.Г., Сасин М.Э., Сердобинцев П.Ю. // ЖТФ. 2012. Т. 82. В. 12. С. 72
- Григорьянц А.В., Васильцов В.В. // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Серия "Машиностроение". 2012. С. 5
- Гарбарук А.В., Демидов Д.А., Калмыков С.Г., Сасин М.Э. // ЖТФ. 2011. Т. 81. В. 6. С. 20
- Butorin P.S., Kalmykov S.G., Maximov V.A., Sasin M.E. // Proc. 2019 Source Workshop, Nov. 4-6, 2019. Amsterdam, 2019. S26. https://www.euvlitho.com/2019/S26.pdf
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
