Вышедшие номера
Гомодинный квадратурный интерферометр перемещений. Моделирование
Вишняков Г.Н.1,2, Минаев В.Л.1,3
1Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, Москва, Россия
2Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва, Россия
3Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", Москва, Россия
Email: vish@vniiofi.ru
Поступила в редакцию: 8 июня 2021 г.
В окончательной редакции: 8 июня 2021 г.
Принята к печати: 24 июня 2021 г.
Выставление онлайн: 26 июля 2021 г.

На основе формализма матриц Джонса описана оптическая схема однопроходного гомодинного интерферометра перемещений с квадратурным принципом регистрации фазы. Интерферометр построен по схеме Майкельсона, а для получения квадратурных сигналов используются поляризационные оптические элементы. Интерферометр предполагается использовать в составе нового отечественного эталона килограмма на основе ватт-весов для прецизионных измерений перемещений и скорости катушки в вертикальном направлении. Рассмотрены результаты моделирования оптической схемы интерферометра с целью оценки влияния на точность измерений несовершенства поляризационных элементов и качества их юстировки. Также реализован алгоритм компенсации нелинейных эффектов, возникающих при квадратичном детектировании интерференционных сигналов. Ключевые слова: интерферометр перемещений, гомодинный, квадратурный сигнал, ватт-весы.