Исследование диэлектрических функций слоя наночастиц Ag на кремнии с помощью спектроэллипсометрии и спектрофотометрии
Толмачев В.А.
1, Жарова Ю.А.
1, Ермина А.А.
1, Большаков В.О.
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: tva@mail.ioffe.ru, piliouguina@mail.ioffe.ru, annaermina97@gmail.com, lion080895@gmail.com
Поступила в редакцию: 20 августа 2021 г.
В окончательной редакции: 24 сентября 2021 г.
Принята к печати: 28 сентября 2021 г.
Выставление онлайн: 9 декабря 2021 г.
Исследованы оптические характеристики слоя наночастиц Ag, осажденного из раствора AgNO3 на поверхности монокристаллического Si. Измерения проведены с помощью спектральной эллипсометрии и спектрофотометрии при одном и том же угле наклона и месте зондирования образца в широком спектральном диапазоне от 200 до 1700 nm. Из полученных экспериментальных данных определены параметры модели Друде-Лоренца и комплексная диэлектрическая функция, которая была сопоставлена с псевдодиэлектрической функцией. В обеих зависимостях выявлены резонансы объемного плазмона вблизи энергии E=3.8 eV, тогда как локализованный плазмон обнаружен в псевдодиэлектрической функции при E=1.65 eV, а в диэлектрической функции при E=1.84 eV. Ключевые слова: диэлектрическая функция, модель Друде-Лоренца, наночастицы серебра, плазмон, псевдодиэлектрическая функция, спектрофотометрия, эллипсометрия.
- S.A. Maier. Plasmonics: Fundamentals and Applications (Springer Science+Business Media LLC, NY, 2007)
- M.I. Stockman. Science, 348 (6232), 287 (2015). DOI: 10.1126/science.aaa6805
- H.A. Atwater, A. Polman. Nature Materials, 9 (3), 205 (2010). DOI: 10.1038/nmat2629
- V.M. Shalaev. Nat. Photonics, 1 (1), 41 (2007). DOI: 10.1038/nphoton.2006.49
- Y. Wang, E.W. Plummer, K. Kempa. Adv. Phys., 60 (5), 799 (2011). DOI: org/10.1080/00018732.2011.621320
- M.I. Stockman, K. Kneipp, S.I. Bozhevolnyi et al. J. Opt., 20 (4), 043001 (2018). DOI: org/10.1088/2040-8986/aaa114
- T.W.H. Oates, H. Wormeester, H. Arwin. Progr. Surf. Sci., 86 (11-12), 328 (2011). DOI: org/10.1016/j.progsurf.2011.08.004
- A. Hilgerm, M. Tenfeldeu, U. Kreibig. Appl. Phys. B., 73 (4), 361 (2001). DOI: 10.1007/s003400100712
- В.А. Кособукин. ФТТ, 54 (12), 2340 (2012) [V.A. Kosobukin. Phys. Sol. St., 54 (12), 2471 (2012)]
- R.M.A. Azzam, N.M. Bashara. Ellipsometry and Polarized Light (North-Holland Publ. Co., Amsterdam-NY.-Oxford, 1977). [Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М.: Мир, 1981)]
- H. Fujiwara. Spectroscopic Ellipsometry. Principles and Applications (Wiley John \& Sons Ltd., England, 2007)
- Ю.А. Жарова, В.А. Толмачев, А.И. Бедная, С.И. Павлов. ФТП, 52 (3), 576 (2018). [Yu.A. Zharova, V.A. Tolmachev, A.I. Bednaya, S.I. Pavlov. Semicond., 52 (3), 316 (2018)]. DOI: org/10.1134/S1063782618030235
- H.U. Yang, J. D'Archangel, M.L. Sundheimer, E. Tucker, G.D. Boreman, M.B. Raschke. Phys. Rev. B., 91 (23), 235137 (2015). DOI: org/10.1103/PhysRevB.91.235137
- Handbook of Optical Constants of Solids. Ed. by E.D. Palik (Academic Press, NY., 1985)
- В.А. Толмачев, Ю.А. Жарова, С.A. Грудинкин. Опт. и спектр., 128 (12), 1868 (2020). DOI: 10.21883/OS.2020.12.50324.211-20 [V.A. Tolmachev, Yu.A. Zharova, S.A. Grudinkin. Opt. Spectrosc., 128 (12), 2002 (2020). https://doi.org/10.1134/S0030400X20121066]
- D.E. Aspnes. Thin Solid Films, 89 (3), 249 (1982). DOI: org/10.1016/0040-6090(82)90590-9
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.