Оптика и спектроскопия

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Оптические свойства сегнетоэлектрических пленок Hf_xZr_yO₂ и La : Hf_xZr_yO₂ по данным эллипсометрии

DOI: 10.21883/OS.2022.03.52163.2477-21

Переводная версия: 10.21883/EOS.2022.03.53556.2477-21

Кручинин В.Н.¹, Спесивцев Е.В.¹, Рыхлицкий С.В.¹, Гриценко В.А.^1,2,3, Mehmood F.⁴, Mikolajick T.^4,5, Schroeder U.⁴

¹Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

²Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия Novosibirsk State University, Novosibirsk, Russia

³Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия Novosibirsk State Technical University, Novosibirsk, Russia

⁴NaMLab gGmbH, Dresden, Germany

⁵Chair of Nanoelectronics, TU Dresden, Dresden, Germany

Email: kruch@isp.nsc.ru, evs@isp.nsc.ru, rhl@isp.nsc.ru, grits@isp.nsc.ru, Furgan.Mehmood@namlab.com, Thomas.Mikolajick@namlab.com, Uwe.Schroeder@namlab.com

Поступила в редакцию: 25 июня 2021 г.

В окончательной редакции: 22 ноября 2021 г.

Принята к печати: 30 ноября 2021 г.

Выставление онлайн: 13 января 2022 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

В последнее время обнаружено наличие сегнетоэлектрических свойств наноразмерных пленок на основе оксида гафния. Такие пленки представляют большой интерес для разработки универсальной памяти, которая сочетает преимущества оперативной и флэш-памяти. В работе изучаются оптические свойства пленок оксида гафния-циркония Hf_xZr_yO₂ и пленок оксида гафния-циркония, легированных лантаном, La : Hf_xZr_yO₂. Флуктуации толщины пленок Hf_xZr_yO₂ не превышают 3.5%, флуктуации толщины пленок La : Hf_xZr_yO₂ - 3.2%. Оптические свойства анализируются на основе теории эффективной среды. По данным теории эффективной среды пленки Hf_xZr_yO₂ содержат 46% HfO₂, 54% ZrO₂, пленки La : Hf_xZr_yO₂ содержат 47.5% HfO₂, 52.4% ZrO₂, 2.5% La₂O₃. Ключевые слова: сегнетоэлектрик, показатель преломления, спектроэллипсометрия, теория эффективной среды.

T. Schenk, M. Pesic, S. Slesazeck, U. Schroeder, T. Mikolajick. Reports on Progress in Physics, 83 (8), 086501 (2020)
H.P. McAdams, R. Acklin, T. Blake, X.H. Du, J. Eliason, J. Fong, W.F. Kraus, D. Liu, S. Madan, T. Moise, S. Natarajan, N. Qian, Y.C. Qiu, K.A. Remack, J. Rodriguez, J. Roscher, A. Seshadri, S.R. Summerfelt. IEEE J. Solid-St. Circ., 39 (4), 667 (2004)
T. Mikolajick, U. Schroeder, S. Slesazeck. IEEE T. Electron Dev., 67(4), 1434 (2020)
D.R. Islamov, V.A. Gritsenko, T.V. Perevalov, V.A. Pustovarov, O.M. Orlov, A.G. Chernikova, A.M. Markeev, S. Slesazeck, U. Schroeder, T. Mikolajick, G.Y. Krasnikov. Acta Mater., 166, 47 (2019)
F. Mehmood, M. Hoffmann, P.D. Lomenzo, C. Richter, M. Materano, T. Mikolajick, U. Schroeder. Adv. Mater. Interfaces, 6 (21), 1901180 (2019)
E.V. Spesivtsev, S.V. Rykhlitskii, V.A. Shvets. Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing, 47 (5), 5 (2011)
В.А. Гриценко, В.Н. Кручинин, И.П. Просвирин, Ю.Н. Новиков, А. Чин, В.А. Володин. ЖЭТФ, 159, 1003 (2019)
В.Н. Кручинин, В.А. Володин, Т.В. Перевалов, А.К. Герасимова, В.Ш. Алиев, В.А. Гриценко. Опт. и спектр., 124 (6), 777 (2018)
S. Adachi. Optical constants of crystalline and amorphous semiconductors: numerical data and graphical information (Springer Science \& Business Media, 1999)
С.В. Рыхлицкий, Е.В. Спесивцев, В.А. Швец, В.Ю. Прокопьев. Приборы и техника эксперимента, 3, 1 (2009)
С.Б. Эренбург, С.В. Трубина, К.О. Квашнина, В.Н. Кручинин, В.В. Гриценко, А.Г. Черникова, А.М. Маркеев. ЖЭТФ, 153 (6), 982 (2018)
В.А. Швец, В.Н. Кручинин, В.А. Гриценко. Опт. и спектр., 123 (5), 728 (2017)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель