Оптика и спектроскопия
Авторам
Формирование плёнок In2O3 методом магнетронного напыления на подложках Al2O3 (012)
Переводная версия: 10.21883/EOS.2022.08.54766.3483-22 
Тихий А.А.1, Николаенко Ю.М.2, Свиридова Е.А.2,3, Жихарев И.В.2
1Луганский государственный педагогический университет, Луганск, Луганская Народная Республика 
2Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина, Донецк, Донецкая Народная Республика
3Донбасская национальная академия строительства и архитектуры, Макеевка, Донецкая Народная Республика
2Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина, Донецк, Донецкая Народная Республика
3Донбасская национальная академия строительства и архитектуры, Макеевка, Донецкая Народная Республика
Email: ea0000ffff@mail.ru, nik@donfti.ru, kasv@i.ua, izhikharev@mail.ru
Поступила в редакцию: 6 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 28 мая 2022 г.
Принята к печати: 30 мая 2022 г.
Выставление онлайн: 6 июля 2022 г.
Обобщены результаты исследований микроструктуры и оптических характеристик плёнок In2O3, полученных dc-магнетронным методом распыления поликристаллической мишени на монокристаллические сапфировые подложки. Технологические режимы получения плёнок отличались временем напыления, температурой подложки, а также наличием дополнительной термообработки пленочных структур на воздухе. Установлено, что оптический показатель преломления плёнок, осажденных на "холодную" подложку, возрастает в направлении от подложки к внешнему интерфейсу. Термообработка плёнок устраняет неоднородность показателя преломления и приводит к уменьшению ширины запрещённой зоны. Наблюдаемые оптические свойства объясняются неоднородной по толщине микроструктурой плёнок, которая формируется при распылении мишени с относительно невысокой механической прочностью. Ключевые слова: плёнки In2O3, магнетронное напыление, подложки Al2O3, показатель преломления, ширина запрещенной зоны.
- A.A. Khalefa, J.M. Marei, H.A. Radwan, J.M. Rzaij. Digest J. Nanomaterials and Biostructures, 16 (1), 197 (2021)
- A.A. Yousif, M.H. Hasan. J. Biosens. Bioelectron., 6 (4), 1000192 (2015). DOI: 10.4172/2155-6210.1000192
- J. Liu, W. Guo, F. Qu, C. Feng, C. Li, L. Zhu, J. Zhou, S. Ruan, W. Chen. Ceramics International, 40, 6685 (2014). DOI: /10.1016/j.ceramint.2013.11.129
- D. Manno, M.D. Giulio, T. Siciliano, E. Filippo, A. Serra. J. Phys. D: Appl. Phys., 34, 2097 (2001). DOI: 10.1088/0022-3727/34/14/303
- Yu.M. Nikolaenko, A.N. Artemov, Yu.В. Medvedev, N.B. Efros, I.V. Zhikharev, I.Yu. Reshidova, A.A. Tikhii, S.V. Kara-Murza. J. Phys. D: Appl. Phys., 49, 375302 (2016). DOI: 10.1088/0022-3727/49/37/375302
- X. Du, J. Yu, X. Xiu, Q. Sun, W. Tang, B. Man. Vacuum, 167, 1 (2019). DOI: 10.1016/j.vacuum.2019.05.035
- S.K. Yadav, S. Das, N. Prasad, B.K. Barick, S. Arora, D.S. Sutar, S. Dhar. J. Vacuum Science \& Technology A, 38, 033414 (2020). DOI: 0.1116/6.0000038
- M. Nistor, W.Seiler, C. Hebert, E. Matei, J. Perri\`ere. Appl. Surface Science, 307, 455 (2014). DOI: 10.1016/j.apsusc.2014.04.056
- W. Seiler, M. Nistor, C. Hebert, J. Perri\`ere. Solar Energy Materials and Solar Cells, 116, 34 (2013). DOI: 10.1016/j.solmat.2013.04.002
- S. Kaneko, H. Torii, M. Soga, K. Akiyama, M. Iwaya, M. Yoshimoto, T. Amazawa. Jpn. J. Appl. Phys., 51 (1S), 01AC02 (2012)
- M.Z. Jarzebski. Phys. Stat. Sol. (a), 71, 13 (1982). DOI: 10.1002/pssa.2210710102
- M. Higuchi, S. Uekusa, R. Nakano, K. Yokogawa. J. Appl. Phys., 74 (11), 6710 (1993). DOI: 10.1063/1.355093
- Y. Shigesato, S. Takaki, T. Haranoh. J. Appl. Phys., 71 (7), 3356 (1992). DOI: 10.1063/1.350931
- H. Kim, C.M. Gilmore, A. Pique, J.S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z.H. Kafafi, D.B. Chrisey. J. Appl. Phys., 86 (11), 6451 (1999). DOI: 10.1063/1.371708
- Ю.М. Николаенко, А.Б. Мухин, В.А. Чайка, В.В. Бурховецкий. ЖТФ, 80 (8), 115 (2010). [Yu.M. Nikolaenko, A.B. Mukhin, V.A. Chaika, V.V. Burkhovetskii. Technical Physics, 55 (8), 1189 (2010)]
- A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, A.S. Kornievets, I.V. Zhikharev. In: The 21st International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams, ed. by M. Yuzhakov, O. Lapteva, M. Slobodyan, V. Tarbokov, G. Remnev (Mozart, Tomsk, Russia, 2019), p. 4
- A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. In: 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2020 online): Abstracts (Publishing House of IAO SB RAS, Tomsk, 2020), p. 601
- А.А. Тихий, Ю.М. Николаенко, Ю.И. Жихарева, И.В. Жихарев. Опт. и спектр., 128 (10), 1544 (2020). DOI: 10.21883/OS.2022.08.52902.3483-22 [A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. Opt. Spectrosc., 128 (10), 1667 (2020). DOI: 10.1134/S0030400X20100252]
- А.А. Тихий, Ю.М. Николаенко, Ю.И. Жихарева, А.С. Корнеевец, И.В. Жихарев. ФТП, 52 (3), 337 (2018). DOI: 10.21883/OS.2022.08.52902.3483-22 [A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, A.S. Kornievets, I.V. Zhikharev. Semiconductors, 52, 320 (2018). DOI: 10.1134/S1063782618030223]
- V.A. Gritskikh, I.V. Zhikharev, S.V. Kara-Murza, N.V. Korchikova, T.V. Krasnyakova, Y.M. Nikolaenko, A.A. Tikhii, A.V. Pavlenko, Y.I. Yurasov. In: Advanced Materials Techniques, Physics, Mechanics and Applications, ed. by Ivan A. Parinov, Shun-Hsyung Chang, Muaffaq A. Jani. Springer Proceedings in Physics (Springer International Publishing AG., 2017), v. 193, p. 55. DOI: 10.1007/978-3-319-56062-5
- A.A. Tikhii, V.A. Gritskikh, S.V. Kara-Murza, N.V. Korchikova, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. In: European Materials Research Society Spring Meeting 2016 (E-MRS 2016) (France, Lille, 2016), L.P. 32 --- Access mode: https://www.european-mrs.com/2016-spring-symposium-l- european-materials-research-society
- А.А. Тихий, Ю.М. Николаенко, М.Ю. Бадекин, В.Н. Саяпин, Н.П. Иваницын, И.В. Жихарев. Вестник ДонНУ. Сер. А: Естественные науки, 3, 112 (2017)
- А.А. Тихий, В.А. Грицких, С.В. Кара-Мурза, Н.В. Корчикова, Ю.М. Николаенко, И.В. Жихарев. В сб.: Международная научно-практическая конференция "Открытые физические чтения". Тезисы докладов, под. ред. Т.В. Краснякова, Е.Е. Горбенко, Л.А. Резниченко, И.А. Вербенко ("Альма матер", Луганск, 2016), с. 37
- А.А. Тихий, Ю.И. Жихарева, И.В. Жихарев. В сб.: Физика.СПб: тезисы докладов международной конференции 18-22 октября 2021 г. (Политех-пресс, СПб., 2021), с. 252
- А.А. Тихий, Е.А. Свиридова, Ю.И. Жихарева, И.В. Жихарев. ЖПС, 88 (5), 743 (2021). [A.A. Tikhii, K.A. Svyrydova, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. J. Appl. Spectrosc., 88 (5), 975 (2021). DOI: 10.1103/PhysRevLett.29.274]
- A. Walsh, J.L.F. Da Silva, Su-Huai Wei, C. Korber, A. Klein, L.F.J. Piper, A. De Masi, K.E. Smith, G. Panaccione, P. Torelli, D.J. Payne, A. Bourlange, R.G. Egdell. Phys. Rev. Lett., 100, 167402 (2008). DOI: 10.1103/PhysRevLett.100.167402
- Y. Furubayashi, M. Maehara, T. Yamamoto. ACS Applied Electronic Materials, 1 (8), 1545 (2019). DOI: 10.1021/acsaelm.9b00317
- L. Gupta, A. Mansingh, P.K. Srivastava. Thin Solid Films, 176, 33 (1989). DOI: 10.1016/0040-6090(89)90361-1
- A. Schleife, M.D. Neumann, N. Esser, Z. Galazka, A. Gottwald, J. Nixdorf, R. Goldhahn, M. Feneberg. New J. Phys., 20, 053016 (2018). DOI: 10.1088/1367-2630/aabeb0
- N.M. Ravindra, P. Ganapathy, J. Choi. Infrared Physics \& Technology, 50, 21 (2007). DOI: 10.1016/j.infrared.2006.04.001
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
