Оптика и спектроскопия

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Методика определения коэффициента отражения в скользящем падении при использовании одноканальной схемы измерения

DOI: 10.61011/OS.2023.08.56298.4846-23

Анциферов П.С.¹, Дорохин Л.А.¹, Макарова В.М.^1,2

¹Институт спектроскопии РАН, Троицк, Москва, Россия Institute of Spectroscopy, Russian Academy of Sciences, Troitsk, Moscow, Russia

²Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", Москва, Россия National Research University Higher School of Economics, Moscow, Russia

National Research University Higher School of Economics, Moscow, Russia

Email: ants@isan.troitsk.ru

Поступила в редакцию: 13 апреля 2023 г.

В окончательной редакции: 13 апреля 2023 г.

Принята к печати: 12 мая 2023 г.

Выставление онлайн: 29 сентября 2023 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Измерение коэффициента отражения в скользящем падении является одним из основных методов для определения оптических констант материалов в диапазоне экстремального ультрафиолета. В настоящей работе описывается одноканальный метод такого измерения, в котором падающее и отраженное излучение, диспергированное в спектрометре скользящего падения, регистрируется одновременно при помощи CCD-матрицы. Предлагается алгоритм обработки спектрограмм, который основан на построении функции спектральной модуляции сигнала в спектре. Такой подход позволяет исключить влияние непрерывного спектрального фона на измеряемую величину коэффициента отражения. Разработанная методика была применена для обработки результатов эксперимента по измерению коэффициента отражения кремния при угле скольжения 5^o в спектральном диапазоне 8-25 nm. В качестве спектрального прибора использовался спектрометр Quasi-Flat Field, источник излучения - быстрый капиллярный разряд. Ключевые слова: экстремальный ультрафиолет, скользящее падение, коэффициент отражения, капиллярный разряд. DOI: 10.61011/OS.2023.08.56298.4846-23

V.Y. Banine, K.N. Koshelev, G.H.P.M. Swinkels. J. Phys. D: Appl. Phys., 44 (25), 253001 (2011). DOI: 10.1088/0022-3727/44/25/253001
F. Schafers, P. Bischoff, F. Eggenstein,A. Erko, A. Gaupp, S. K?nstner, M. Mast, J.-S. Schmidt, F. Senf, F. Siewert, A. Sokolov, T. Zeschke. J. Synchrotron Radiat., 23 (1), 67--77 (2016). DOI: 10.1107/s1600577515020615
B. Beckhoff, A. Gottwald, R. Klein, M. Krumrey, R. Muller, M. Richter, F. Scholze, R. Thornagel, G. Ulm. Phys. Status Solidi B, 246 (7), 1415--1434 (2009). DOI: 10.1002/pssb.200945162
J.H. Underwood, E.M. Gullikson. J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 92 (1-3), 265--272 (1998). DOI: 10.1016/s0368-2048(98)00134-0
R. Ciesielski, Q. Saadeh, V. Philipsen, K. Opsomer, J.P. Soulie, M. Wu, P. Naujok, R. van de Kruijs, C. Detavernier, M. Kolbe, F. Scholze, V. Soltwisch. Appl. Opt., 61 (8), 2060--2078 (2022). DOI: 10.1364/AO.44715
M. Banyay, L. Juschkin. Appl. Phys. Lett., 94 (6), 063507 (2009). DOI: 10.1063/1.3079394
K. Bergmann, O. Rosier, C. Metzmacher. Rev. Sci. Instrum., 76 (4), 043104 (2005). DOI: 10.1063/1.1884387
В.О. Догадин, С.Ю. Зуев, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, А.В. Щербаков. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 7, 77 (2015). [V.O. Dogadin, S.Yu. Zuev, N.N. Salashchenko, N.I. Chkhalo, A.V. Shcherbakov. J. Surf. Invest.: X-Ray, Synchrotron Neutron Tech., 9 (4), 726--734 (2015). DOI: 10.1134/s1027451015040072]
С.А. Гарахин, И.Г. Забродин, С.Ю. Зуев, И.А. Каськов, А.Я. Лопатин, А.Н. Нечай, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, М.В. Свечников. Квант. электрон., 47 (4), 385--392 (2017). [S.A. Garakhin, I.G. Zabrodin, S.Y. Zuev, I.A. Kas'kov, A.Y. Lopatin, A.N. Nechay, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin, N.I. Chkhalo, M.V. Svechnikov. Quantum Electron., 47 (4), 385--392 (2017). DOI: 10.1070/qel16300]
D.B. Abramenko, P.S. Antsiferov, L.A. Dorokhin, V.V. Medvedev, Y.V. Sidelnikov, N.I. Chkhalo, V.N. Polkovnikov. Opt. Lett., 44 (20), 4949 (2019). DOI: 10.1364/ol.44.004949
P.S. Antsiferov, L.A. Dorokhin, P.V. Krainov. Rev. Sci. Instrum., 87 (5), 053106 (2016). DOI: 10.1063/1.4945654
P.S. Antsiferov, L.A. Dorokhin. J. Appl. Phys., 113 (24), 243303 (2013). DOI: 10.1063/1.4811714
NIST Chemistry WebBook [Электронный ресурс]. URL: https://webbook.nist.gov/chemistry/
CXRO X-Ray Interactions With Matter [Электронный ресурс]. URL: https://henke.lbl.gov/optical_constants/
Greateyes [Электронный ресурс]. URL: https://www.greateyes.de/projects/greateyes/static/custom/file/ greateyes_InVacuum_Camera_Series_Rev03.pdf

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель