Comment to the paper by A.I. Tolmachev and L. Forlano Depemdence of the sputtering yield on the angle of ion incidence on the target surface" (2022, V. 92. Issue 5. P. 660-664)
Shulga V. I.1
1Skobeltsyn Institute of Nuclear Physics, Moscow State University, Moscow, Russia
Email: vish008@yandex.ru
A criitical analysis of the approach applied by A.I. Tolmachev and L. Forlano (ZhTF, 92 (5), 660 (2022)) to solving the problem of ion sputtering of solids is presented. Keywords: sputtering, angular dependence of the sputtering yield, computer simulation, program PAOLA, program SRIM, transport equation, binary collisions.
- A.I. Tolmachev, L. Forlano. Tech. Phys., 67 (5), 555 (2022). DOI: 10.21883/TP.2022.05.53670.2-22
- J.F. Ziegler, J.P. Biersack, M.D. Ziegler. SRIM --- The Stopping and Ranges of Ions in Solids (SRIM Co., Chester, 2008), http://www.srim.org
- V.I. Shulga. Appl. Surf. Sci., 439, 456 (2018). DOI: 10.1016/j.apsusc.2018.01.039
- M. Hou, M.T. Robinson. Appl. Phys., 18, 381 (1979). DOI: 10.1007/BF00899692
- J.P. Biersack, W. Eckstein. Appl. Phys. A, 34, 73 (1984). DOI: 10.1007/BF00614759
- Y. Yamamura, C. Mossner, H. Oechsner. Radiat. Eff., 103, 25 (1987). DOI: 10.1080/00337578708210060
- H.-B. Kim, G. Hobler, A. Lugstein, E. Bertagnolli. J. Micromech. Microeng., 17, 1178 (2007). DOI: 10.1088/0960-1317/17/6/011
- H. Hofsass, K. Zhang, A. Mutzke. Appl. Surf. Sci., 310, 134 (2014). DOI: 10.1016/j.apsusc.2014.03.152
- S. Lindsey, G. Hobler. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 303, 142 (2013). DOI: 10.1016/j.nimb.2012.12.087
- R.M. Bradley, G. Hobler. J. Appl. Phys., 133, 0653032 (2023). DOI: 10.1063/5.0137324
- V.M. Kivilis, E.S. Parilis, N.Yu. Turaev. DAN SSSR 173, 805 (1967) (in Russian)
- V.E. Yurasova, V.I. Shulga, D.S. Karpuzov. Can. J. Phys., 46, 759 (1968)
- E.S. Wise, M.S. Liu, T. Miller. Comp. Mater. Sci., 107, 102 (2015). DOI: 10.1016/j.commatsci.2015.05.008
- V.I. Shulga. Appl. Surf. Sci., 458, 18 (2018). DOI: 10.1016/j.apsusc.2018.07.059
- M.T. Robinson. J. Appl. Phys., 54, 2650 (1983). DOI: 10.1063/1.332267
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.