Исследованы структурные, оптические и фотолюминесцентные свойства тонких пленок ZnО, созданных по различным корпускулярно-фотонным технологиям: реактивным ионно-плазменным распылением, импульсным электронно-лучевым испарением и лазерной абляцией. Приведены результаты рентгеноструктурного анализа пленок оксида цинка, синтезированных на подложках из кварца КУ-1. Приведены спектры пропускания, спектры отражения, спектры поглощения и спектральная зависимость фотолюминесценции тонких пленок ZnO в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра. Ключевые слова: оксид цинка, дифрактограмма, реактивное ионно-плазменное распыление, импульсное электронно-лучевое распыление, лазерная абляция, спектр пропускания, спектр отражения, спектр фотолюминесценции.