Вышедшие номера
Влияние стехиометрии теллура и цинка на эллипсометрические спектры ZnTe/GaAs (100)
Грекова А.А. 1,2, Климов Е.А.1, Виниченко А.Н. 1,2, Бурлаков И.Д.1
1Акционерное общество "НПО "Орион", Москва, Россия
2Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Email: ingo.tyan2@mail.ru, klimov_evgenyi@mail.ru, idbur@ya.ru
Поступила в редакцию: 13 ноября 2024 г.
В окончательной редакции: 27 января 2025 г.
Принята к печати: 28 февраля 2025 г.
Выставление онлайн: 22 апреля 2025 г.

Исследовано влияние стехиометрии молекулярных потоков Zn : Te на оптические свойства теллурида цинка. Рассмотренные структуры ZnTe были получены на подложках GaAs (100) с помощью метода молекулярно-лучевой эпитаксии. Посредством оптической эллипсометрии были определены эллипсометрические спектры параметра psi. Исследование показало, что особенности Ван-Хова E1 и E_1+Δ1, соответствующие 3.65 eV и 4.27 eV, являются характерными для соединения ZnTe. Избыток теллура в потоке падающего вещества приводит к одновременному уменьшению амплитуды и уширению экстремумов в спектре psi(λ) из-за образования дефектов, поглощающих видимое излучение. Спектры показателя psi и мнимой компоненты диэлектрической проницаемости в области E > Eg содержат экстремумы, схожие по энергетическому положению. При преобладании одного из компонентов в соотношении Zn : Te, энергетические положения критических точек остаются постоянными при разной толщине образцов. Однако избыточный Zn в соотношении Zn : Te приводит к неопределенности энергетического положения края поглощения. Результаты исследования могут оказаться полезными для эллипсометрического экспресс-контроля стехиометрии и оценки кристаллического качества бинарных твердых растворов группы А2В6 в составе эпитаксиальных слоев. Ключевые слова: теллурид цинка, спектральная эллипсометрия, молекулярно-лучевая эпитаксия, стехиометрия состава, эллипсометрические спектры.
  1. F. Hou, Y. Zhang, Y. Zhou, M. Zhang, B. Lv. Sustainability, 14 (18), 11161 (2022). DOI: 10.3390/su141811161
  2. T. Kawanishi. Photonics, 8 (5), 160 (2021). DOI: 10.3390/photonics8050160
  3. D. Wang, M.L. Kuzma, X. Tan, T.C. He, C. Dong, Z. Liu. J. Adv. Drug Delivery Rev., 179, 114036 (2021). DOI: 10.1016/j.addr.2021.114036
  4. S. Durganjali, S. Bethanabhotla, S. Kasina, S. Radhika. J. Physics: Conf. Ser., 1495, 012018 (2020). DOI: 10.1088/1742-6596/1495/1/012018
  5. H.L. Liu, C.C. Chen, C.C. Yeh, C.H. Chen, M.Y. Yu, S. Keller, S.P. DenBaars. Chem. Phys. Lett., 345 (3-4), 245-251 (2021). DOI: 10.1016/S0009-2614(01)00858-2
  6. V.S. Varavin, S.A. Dvoretskii, N.N. Mikhailov, V.G. Remesnik, I.V. Sabinina, Yu.G. Sidorov, V.A. Shvets, M.V. Yakushev, A.V. Latyshev. Optoelectron. Instrument. Data Process., 56, 456-469 (2020). DOI: 10.3103/S8756699020050143
  7. H. Singh, T. Singh, J. Sharma. ISSS J. Micro Smart Syst., 7, 123-143 (2018). DOI: 10.1007/s41683-018-0026-2
  8. R.D. Feldman, R.F. Austin, A.H. Dayem, E.H. Westerwick. Appl. Phys. Lett., 49, 797, 1986. DOI: 10.1063/1.97550
  9. R.D. Feldman, R.F. Austin, P.M. Bridenbaugh, A.M. Johnson, W.M. Simpson, B.A. Wilson, C.E. Bonner. J. Appl. Phys., 64, 1191 (1988). DOI: 10.1063/1.341883
  10. Т. Мосс, Г. Баррел, Б. Эллис. Полупроводниковая оптоэлектроника (Мир, М., 1976), с. 56
  11. К.В. Шалимова. Физика полупроводников (Энергоатомиздат, М., 1985), изд. 3, с. 302
  12. V.A. Shvets, M.V. Yakushev. Opt. Spectrosc., 92 (5), 780-783 (2002). DOI: 10.1134/1.1481146
  13. F. Ahmed, A.E. Naciri, J.J. Grob, M. Stchakovsky, L. Johann. Nanotechnology, 20, 305702 (2009). DOI: 10.1088/0957-4484/20/30/305702
  14. E.D. Palik. Handbook of optical constants of solids (Academic Press, USA, 1998), V. 1-3, P. 798
  15. V. Gupta, A. Mansingh. J. Appl. Phys., 80, 1063-1073 (1996). DOI: 10.1063/1.362842
  16. В.А. Швец, Д.В. Марин, В.Г. Ремесник, И.А. Азаров, М.В. Якушев, С.В. Рыхлицкий. Опт. и спектр., 128 (12), 1815-1820 (2020). DOI: 10.21883/OS.2020.12.50315.349-20
  17. D.V. Marin, V.A. Shvets, I.A. Azarov, M.V. Yakushev, S.V. Rykhlitskii. Infrared Phys. Technol., 116, 103793 (2021). DOI: 10.1016/j.infrared.2021.103793
  18. В.А. Швец, Д.В. Марин, М.В. Якушев, С.В. Рыхлицкий. ФТП, 57 (6), 469-475 (2023). DOI: 10.61011/FTP.2023.06.56476.5278
  19. В.А. Швец, И.А. Азаров, Д.В. Марин, М.В. Якушев, С.В. Рыхлицкий. ФТП, 53 (1), 137-142 (2019). DOI: 10.21883/FTP.2019.01.47001.8947
  20. F.T.J. Smith. J. Phys. Chem. Sol., 32 (9), 2201-2209 (1971). DOI: 10.1016/S0022-3697(71)80398-0
  21. I. Horichok, T. Parashchuk, M. Pylyponiuk, O. Soroka, M. Voloshynovych. J. Crystal Growth, 486, 10-18 (2018). DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2017.12.039
  22. K. Sato, S. Adachi. J. Appl. Phys., 73, 926-931 (1993). DOI: 10.1063/1.353305
  23. G. Cohensolar, F. Bailly, M. Barbe. Appl. Phys. Lett., 49, 1519 (1986). DOI: 10.1063/1.97320