Предложена модификация сублимационного сэндвич-метода для выращивания эпитаксиальных слоев карбида кремния, отличающаяся лучшей управляемостью процессов роста, более низкой энергоемкостью и высокой производительностью.
М.М. Аникин, В.А. Дмитриев, Н.Б. Гусева, А.Л. Сыркин. Изв. АН СССР. Неорг. матер., вып. 10, 1768 (1984)
M.M. Anikin, P.A. Ivanov, A.A. Lebedev, S.N. Pytko, A.M. Strel'chuk, A.L. Syrkin. In: \it Semiconductor Interfaces and Microstructures, ed. by Zh.C. Feng (World Scientific Publishing Co., Singapore, 1992) p. 280
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.