"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Подвижность электронов и плотность состояний в a-C:H
Коньков О.И.1, Трапезникова И.Н.1, Теруков Е.И.1
1Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук,, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.

Проведены исследования электрофизических свойств и дрейфовой подвижности электронов в пленках аморфного гидрированного углерода. Пленки получены методом высокочастотного разложения смесей CH4+Ar/H2 при температурах 25 и 250 oC. Показано, что экспериментальные данные можно удовлетворительно объяснить, если предположить, что распределение плотности состояний в хвосте зоны проводимости имеет гауссову форму со значениями характеристической температуры (1000-1400) K. Оценено значение подвижности электронов, которое составляет более 1 см2/В·с для всех исследованных пленок.
  • J.C. Angus. \it Diamond and related materials (1991) v. 1, p. 61; F. Demichelis, A. Tagliaferro, D. Dasgupta. \it Proc. I \it st European Conf. on Diamond and Diamond-like Carbon Coatings (Crans-Montana, Switzerland, 1990) p. 218
  • P.G. Le Comber, A. Madan, W.E. Spear. J. Non-Cryst. Sol., \bf 11, 219 (1972)
  • T. Tiedje, A. Rose. Sol. St. Commun., \bf 57, 49 (1980)
  • J.M. Marshall, H. Michiel, G.J. Adriaenssen. Phil. Mag. B, \bf 47, 211 (1984)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.