"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Быстрая термическая диффузия цинка в гетероструктуру GaAs/AlxGa 1-xAs /GaAs
Абросимова В.Н.1, Аветисян Л.Ф.1, Вяткин А.Ф.1, Дубровский Ю.В.1, Пустовит А.Н.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов Российской академии наук., Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 24 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 октября 1994 г.

Исследован процесс быстрой термической диффузии Zn в GaAs n- и p-типа и в гетероструктуру GaAs/AlxGa1-xAs/GaAs из тонкопленочных оксидных источников (ZnO)x(SiO2)1-x, сформированных методом центрифугирования из пленкообразующих растворов. Диффузия осуществлялась в среде N2, в диапазоне температур 700--800 oC в течение 6--12 с. Глубина проникновения Zn в гетероструктуры составляла около 500 нм. Механизм диффузии Zn в структуру с гетеробарьером аналогичен механизму диффузии Zn в GaAs. Взаимная диффузия Al и Ga в гетеробарьере в рассмотренном диапазоне температур усилена диффузией Zn в режиме быстрой термической диффузии.
  • V. Quintana, J.J. Clemencon, A.K. Chin. J. Appl.Phys., \bf 63, 2454 (1988)
  • P. Gavrilovic, D.G. Deep, K. Meehan et. al. Appl. Phys. Lett., \bf 47, 130 (1985)
  • K. Nishiyama, M. Afai, N. Watanabe. Japan. J. Appl. Phys., \bf 20, 124 (1981)
  • N. Holonyak, W.D. Laidig, M.D. Camras, J.J. Coleman, P.D. Dapkus. Appl. Phys. Lett., \bf 39, 102 (1981)
  • А.И. Борисенко, В.Н. Коковина, Е.П. Трошина, Л.Ф. Чепик. ДАН СССР, \bf 262, 1409 (1982)
  • C.Lu Yicheng, T.S. Kalkur, C.A. Paz de Araujo. J. Electron. Mater, \bf 19, 29 (1990)
  • G. Rajeswaran, D.J. Lawrence, S.-Tong Lee, K.B. Kahen. \it Mater. Res. Soc. Symp. Proc. \bf 144, 551 (1990)
  • K.B. Kahen. Appl. Phys. Lett., 55, 2117 (1989)
  • S. Yu, T.Y. Tan, U. Gosele. J. Appl. Phys., \bf 69, 3547 (1991)
  • A. Usami, Y. Tokuda, H. Shiraki et. al. J. Appl. Phys., \bf 66, 3590 (1989)
  • E.V.K. Rao, H. Thibierge, F. Brillouet et. al. Appl. Phys. Lett., \bf 46, 867 (1985)
  • R.W. Kaliski, P. Gavrilovic, K. Meehan et. al. J. Appl. Phys., \bf 58, 101 (1985)
  • J.Gibert, P.M. Petroiff, D.J. werder et. al. Appl. Phys. Lett., \bf 49, 223 (1986)
  • S. tong Lee, G. Braunstein, P. Fellinger, G. Rajeswaran. \it Mater. Res. Soc. Symp. Proc., \bf 144, 489 (1989)
  • B. Elman, E.S. Koteles, P. Melman, C.A. Armiento. \it Mater. Res. Soc. Symp. Proc., \bf 144, 445 (1989)
  • L.G. Guido, N. Holonyak, K.C. Hsieh et. al. J. Appl. Phys., \bf 61, 1372 (1987)
  • J.D. Ralston, S.O. Brien, G.W. Wicks, L.F. Eastman. Appl. Phys. Lett., \bf 52, 1511 (1988)
  • W.D. Laidig, N Holonyak, M.D. Camras et. al. Appl. Phys. Lett., \bf 38, 776 (1981)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.