"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Явление поверхностной сегрегации основных компонентов твердого раствора A IIIB V и сегрегационный приповерхностный гетеропереход в GaAlAs
Бессолов В.Н.1, Лебедев М.В.1, Царенков Б.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 7 июля 1994 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1994 г.

Обнаружено явление твердофазной поверхностной сегрегации атомов основных компонентов твердого раствора AIIIBV при жидкостной эпитаксии на примере сегрегации Ga и Al в GaAlAs. Твердофазная поверхностная сегрегация заключается в перераспределении атомов основных компонентов твердого раствора при установлении термодинамического равновесия между объемом и поверхностью и возникает из-за неэквивалентности межатомных химических связей в объеме и у поверхности кристалла. Установлено, что поверхностная сегрегация наиболее ярко проявляется при условии, что скорость роста слоя существенно меньше скорости переноса атомов Ga и Al в твердой фазе. Показано, что в результате поверхностной сегрегации содержание AlAs в приповерхностной области оказывается меньшим, чем в объеме (возникает сегрегационный гетеропереход); при этом содержание AlAs в объеме гетероструктуры увеличивается при уменьшении скорости роста слоя, а содержание AlAs в приповерхностной области зависит от ориентации поверхности эпитаксиального слоя.
  • \it Adsorption on metal surfaces: An integrated approach., ed. by E. Benard (Elsevier Sci. Pub., 1983) p. 44
  • T.C. Chiang, R. Ludeke, D.E. Eastman. Phys. Rev. B, 25, 6518 (1982)
  • J.M. Moison, C. Guille, F. Houzay, F. Barthe, M. Van Rompay. Phys. Rev. B, 40, 6149 (1989)
  • J.M. Gerard, J.Y. Marzin. Phys. Rev. B, 45, 6313 (1992)
  • K. Muraki, S. Fukatsu, Y. Shiraki, R. Ito. Appl. Phys. Lett., 61, 557 (1992)
  • M. Ilg, K.H. Ploog. Phys. Rev. B, 48, 11512 (1993)
  • В.Н. Бессолов, М.В. Лебедев. Письма в ЖТФ, 17, 17 (1991)
  • А.А. Чернов. В кн.: \it Современная кристаллография (М., Наука, 1980) т. 3, с. 134
  • T.E. Schlesinger, T. Kuech. Appl. Phys. Lett., 49, 519 (1986)
  • T. Nishinaga, K. Mochizuki, H. Yoshinaga, C. Sasaoka, M. Washiyama. J. Cryst. Growth, 98, 98 (1989)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.