Изучены особенности кинетики накопления кислородосодержащих двухзарядных термодоноров при T=427 oC в кристаллах кремния, прошедших предварительный высокотемпературный отжиг в атмосфере H2. Показано, что насыщение кристаллов Si водородом приводит к резкому возрастанию начальной скорости генерации как самих термодоноров, так и центров их зарождения.
J.L. Benton, L.C. Kimerling, M. Stavola. Physica, 116B, 271 (1983)
B.-Y. Mao, J. Lagowski, H.C. Gatos. J. Appl. Phys., 56, 2729 (1984)
Y. Kamiura, F. Hashimoto, K. Endo. J. Appl. Phys., 61, 2478 (1987)
J.L. Lindstrom, H. Weman, G.S. Oehrlein. Phys. St. Sol. (a), 99, 581 (1987)
V.P. Markevich, L.I. Murin. Phys. St. Sol. (a), 111, K149 (1989)
L.I. Murin, V.P. Markevich. \it Proc. Int. Conf. on Science and Technology of Defect Control in Semiconductors, Yokohama, Japan, 1989, Ed. by K.Sumino (North-Holland, Amsterdam, 1990) p. 199
В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 25, 262 (1991)
Ю.М. Бабицкий, М.В. Васильева, П.М. Гринштейн, М.А. Ильин, О.А. Ремизов. ФТП, 25, 838 (1991)
V.M. Babich, Yu.P. Dotsenko, N.B. Kovalchuk. Phys. St. Sol. (a), 86, K91 (1984)
R.C. Newman, J.H. Tucker, A.R. Brown, S.A. McQuaid. J. Appl. Phys., 70, 3061 (1991)
В.П. Маркевич, Л.И. Мурин, А.Г. Литвинко. Письма в ЖТФ, 19, 39 91993)
H.J. Stein, S.K. Hahn. J. Appl. Phys., 75, 3477 (1994)
A.N. Safonov, E.C. Lightowlers. Materials Science Forum (Trans. Tech. Publications, Switzerland, 1994) v. 143--147, p. 903
S.A. McQuaid, R.C. Newman, E.C. Lightowlers. Materials Science Forum (Trans. Tech. Publications, Switzerland, 1992) v. 83--87, p. 93
Л.Ф. Макаренко, В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 19, 1935 (1985)
W. Gotz, G. Pensl, W. Zulehner. Phys. Rev. B, 46, 4312 (1992)
G.D. Watkins. Rev. Sol. St. Sci., 4, Nos 2--3, 279 (1990)
Л.Ф. Макаренко, Л.И. Мурин. ФТП, 20, 1530 (1986)
R.C. Newman, J.H. Tucker, S.A. McQuaid. Materials Science Forum (Trans. Tech. Publications, Switzerland, 1992) v. 83--87, p. 87
S.K. Etreicher. Phys. Rev. B, 41, 9886 (1990)
R. Jones, S. Oberg, A. Umerski. Materials Science Forum (Trans. Tech. Publications, Switzerland, 1992) v. 83--87, p. 551
S.J. Pearton, J.W. Corbett, M. Stavola. \it Hydrogen in Crystalline Semiconductors (Berlin, Springer-Verlag, 1992)
Ф.П. Коршунов, В.П. Маркевич, И.Ф. Медведева, Л.И. Мурин. ДАН Беларуси, 38, N 2, 35 (1994)
V.P. Markevich, M. Suezawa, K. Sumino, L.I. Murin. J. Appl. Phys., 76, 7347 (1994)
В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 25, 1737 (1991)