"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Встраивание As в эпитаксиальные слои GaN при молекулярно-лучевой эпитаксии
Бер Б.Я.1, Меркулов А.В.1, Новиков С.В.1, Третьяков В.В.1, Ченг Т.С.1, Фоксон С.Т.1, Дженкинс Л.С.1, Хупер С.Е.1, Лаклисон Д.Е.1, Ортон Д.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 сентября 1995 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 1996 г.

Вхождение As в эпитаксиальные слои GaN, полученные методом молекулярно-лучевой эпитаксии, было исследовано с использованием методов вторичной ионной масс-спектроскопии, оже-электронной спектроскопии, рентгеноспектрального микроанализа, растровой электронной микроскопии и рентгеновской дифрактометрии. Было определено значение предельной растворимости As в GaN на уровне (1-2)· 1019 см-3, что соответствует концентрации порядка 0.04 ат %.
  • S. Strite, H. Morkoc. J. Vac. Sci. Technol., B 10, 1237 (1992)
  • R.B. Davis. IEEE Proceedings, 79, 702 (1991)
  • T.S. Cheng, L.C. Jenkins, S.E. Hooper, C.T. Foxon, J.W. Orton, D.E. Lacklison. Appl. Phys. Lett., 66, 1509 (1995)
  • L.C. Jenkins, T.S. Cheng, C.T. Foxon, J.W. Orton, S.E. Hooper, S.V. Novikov, V.V. Tret'yakov. J. Vac. Sci. Technol., B 13, 1585 (1995)
  • J.W. Orton, D.E. Lacklison, N. Baba-Ali, C.T. Foxon, T.S. Cheng, S.V. Novikov, D.F.C. Johnston, S.E. Hooper, L.C. Jenkins, L.J. Challis, T.L. Tanasley. J. Electron. Mater., 24, 263 (1995)
  • S.V. Novikov, C.T. Foxon, T.S.Cheng, T.L. Tansley, J.W. Orton, D.E. Lacklison, D. Johnston, N. Baba-Ali, S.E. Hooper, L.C. Jenkins, L. Eaves. J. Cryst. Growth, 146, 340 (1995)
  • C.T. Foxon, T.S. Cheng, S.V. Novikov, D.E. Lacklison, L.C. Jenkins, D. Johnston, J.W. Orton, S.E. Hooper, N. Baba-Ali, T.L. Tansley, V.V. Tret'yakov. J. Cryst. Growth, 150, 892 (1995)
  • M. Weyers, M. Sato, H. Ando. Japan. J. Appl. Phys., 31, L853 (1992)
  • M. Kondow, K. Uomi, K. Hosomi, T. Mozume. Japan. J. Appl. Phys., 33, L1056 (1994)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.