"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Последовательные превращения золотосодержащих комплексов в кремнии n-типа проводимости при насыщении атомарным водородом
Парахонский А.Л.1, Феклисова О.В.1, Карелин С.С.1, Ярыкин Н.А.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 30 июня 1995 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1996 г.

Исследуется энергетический спектр и пространственное распределение центров с глубокими уровнями, возникающих в кристаллах кремния, легированных золотом, в результате насыщения атомарным водородом при комнатной температуре. Обнаружено, что пассивация электрической активности атомов золота в кремнии протекает через промежуточные стадии, определяемые последовательным присоединением атомов водорода.
  • S.J. Pearton, A.J. Tavendale. Phys. Rev. B, 26, 7105 (1982)
  • S.J. Pearton, J.W. Corbett, T.S. Shi. Appl. Phys. A, 43, 153 (1987)
  • S.J. Pearton. In: \it Semiconductors and Semimetals, ed. by J.I. Pankove, N.M. Johnson (Academic, San Diego, 1991), v. 34, p. 66
  • С.В. Ковешников, С.В. Носенко, Е.Б. Якимов. ФТП, 22 922 (1988)
  • E.O. Sveinbjornsson, O. Engstrom. Appl. Phys. Lett., 61, 2323 (1992)
  • T. Sadoh, H. Nakashima, T. Tsurushima. J. Appl. Phys., 72, 520 (1992)
  • H. Feichtinger, E. Sturm. Mater. Sci. Forum, 143--147, 111 (1994)
  • E.O. Sveinbjornsson, G.I. Andersson, O. Engstrom. Phys. Rev. B, 49, 7801 (1994)
  • S. Shapoval, P. Bulkin, A. Chumakov. Vacuum, 43, 195 (1992)
  • О.В. Феклисова, Е.Б. Якимов, Н.А. Ярыкин. ФТП, 28, 2179 (1994)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.