"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Образование донорных центров при отжиге кремния, имплантированного эрбием
Александров О.В.1, Соболев Н.А.1, Шек Е.И.1, Меркулов А.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 7 июля 1995 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 1996 г.

Изучено влияние температуры, времени и атмосферы отжига на образование донорных центров в кремнии, имплантированном ионами эрбия с энергией 1 МэВ и дозой 1· 1013 см-2. Наблюдавшиеся зависимости концентрации образующихся донорных центров, коэффициента активации и толщины n-слоя от условий отжига свидетельствуют, что в образовании донорных центров кроме атомов эрбия участвуют собственные точечные дефекты, образующиеся во время отжига имплантированного слоя при температурах 400/ 1200oС.
  • F. Widdershoven, J.P.M. Naus. Mater. Sci. Eng. B, 4, 71 (1989)
  • J.L. Benton, J. Michel, L.C. Kimerling. D.S. Jacobson, Y.-H. Xie, D.S. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, J.M. Poate. J. Appl. Phys., 70, 2667 (1991)
  • F. Priolo, S. Coffa, G. Franzo, C. Spinella, A. Carnera, V. Bellani. J. Appl. Phys., 74, 4936 (1993)
  • А.Ф. Буренков, Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумахов, М.М. Темкин. \it Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей (Минск, Изд-во БГУ, 1980)
  • J. Michel, J.L. Benton, R.F. Ferrante, D.S. Jacobson, D.S. Eaglesham, E.A. Fitzgerald, Y.-H. Xie, J.M. Poate, L.C. Kimerling. J. Appl. Phys., 70, 2672 (1991)
  • \it Технология СБИС, под ред. Ю.Д. Чистякова (М., Мир, 1986) кн. 1, 2
  • F.Y.G. Ren, J. Michel, Q. Sun-Paduano, B. Zheng, H. Kitagawa, D.S. Jacobson, J.M. Poate, L.C. Kimerling. MRS Symp. Proc., 301, 87 (1993)
  • D. Moutonnet, H.L. Haridon, P.N. Favennec, M. Salvi, M. Gauneau, F. Arnaud, D. Avitaya, J. Chroboczek. Mater. Sci. Eng. B, 4, 75 (1989)
  • Н.А. Соболев. ФТП, 29, 1153 (1995)
  • Н.А. Соболев, М.С. Бреслер, О.Б. Гусев, Е.И. Шек, М.И. Маковийчук, Е.О. Паршин. ФТП, 28, 1995 (1994)
  • P.M. Fahey, P.B. Griffin, J.D. Plummer. Rev. Mod. Phys., 61, 289 (1989)
  • A.I. Kurbakov, N.A. Sobolev. Mater. Sci. Eng., B, 22, 149 (1994)
  • О.В. Александров, В.В. Емцев, Д.С. Полоскин, Н.А. Соболев, Е.И. Шек. ФТП, 28, 2045 (1994)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.