"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Рекомбинационно-стимулированный отжиг в слоях GaAs и AlGaAs
Соболев М.М.1, Абрамов А.В.1, Дерягин Н.Г.1, Дерягин А.Г.1, Кучинский В.И.1, Папенцев М.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 2 ноября 1995 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1996 г.

Эпитаксиальные слои GaAs и AlGaAs, выращенные при сверхвысоких скоростях охлаждения, исследовались с помощью измерений спектров по методу DLTS и фотолюминесценции. Было обнаружено, что неравновесные условия роста приводят к формированию дефектов, характерных для радиационно-облученных GaAs и AlGaAs и связанных с центрами типа V As и AsGa. После облучения этих слоев лазером с длиной волны lambda=0.51 мкм наблюдались значительные изменения в спектрах DLTS для GaAs и AlGaAs и спектрах фотолюминесценции AlGaAs. Эти изменения связываются с процессом частичного оптически индуцированного отжига дефектов и с процессом рекомбинационно-стимулированной диффузии донорной примеси (D), приводящим к образованию комплекса V As-D.
  • A. Mitoneau, G.M. Martin, A. Mircea. Electron. Lett., 13, 666 (1977)
  • М.М. Соболев, С.Г. Конников, М.Н. Степанова. ФТП, 18, 383 (1984)
  • М.М. Соболев, П.Н. Брунков, С.Г. Конников, М.Н. Степанова, В.Г. Никитин, В.П. Улин, А.Ш. Долбая, Т.Д. Камушадзе, Р.М. Майсурадзе. ФТП, 23, 1058 (1989)
  • П.Н. Брунков, С. Гайбуллаев, С.Г. Конников, В.Г. Никитин, М.И. Папенцев, М.М. Соболев. ФТП, 25, 338 (1991)
  • А.В. Абрамов, Б.Я. Бер, Н.Г. Дерягин, А.В. Меркулов, Д.Н. Третьяков. Письма ЖТФ, 21, 34 (1995)
  • D.V. Lang, R.A. Logan, L.C. Kimerling. Phys. Rev. B, 15, 4874 (1977)
  • D. Stievenard, X. Boddaert, J.C. Bourgoin, H.J. von Bardeleben. Phys. Rev. B, 41, 5271 (1990)
  • M. Zazoui, S.L. Feng, J.C. Bourgoin. Phys. Rev. B, 41, 8485 (1990)
  • D.V. Lang, R.A. Logan. Phys. Rev. B, 19, 1015 (1979)
  • P.K. Bhattacharya, S. Subramanian, M.J. Ludovise. J. Appl. Phys., 55, 3664 (1984)
  • S. Makram-Ebeid, P. Boher. Revue Phys. Appl., 23, 847 (1988)
  • L. Pavesi, M. Guzzi. J. Appl. Phys., 75, 4779 (1994)
  • L. Pavesi, N.H. Ku, J.D. Ganie're, F.K. Renhart, N. Baba-Ali, I. Harison, B. Tuck, M. Henini. J. Appl. Phys., 71, 2225 (1992)
  • D.V. Lang, L.C. Kimerling. Phys. Rev. Lett., 33, 489 (1974)
  • M. Hamatsu, K. Wada. Appl. Phys. Lett., 18, 2015 (1991)
  • D.J. Chadi, K.J. Chang. Phys. Rev. B, 39, 10063 (1989)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.