"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Морфология и спектры плотности состояний пленок a-SiC : H, полученных высокочастотным распылением
Лигачев В.А.1, Свиркова Н.Н.1, Филиков В.А.1, Васильева Н.Д.1
1Московский энергетический институт (Технический университет), Москва, Россия
Поступила в редакцию: 21 июня 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1996 г.

Исследовано влияние условий приготовления, а именно --- температуры подложки, на морфологию, спектры плотности состояний в щели подвижности, электрофизические и оптические параметры аморфного гидрогенизированного карбида кремния, полученного методом высокочастотного ионно-плазменного распыления. Выявлена взаимосвязь между отдельными параметрами спектров плотности состояний и морфологией исследуемых пленок. Установлена область ''критических'' значений варьируемого технологического параметра, при которых происходит резкое изменение электрофизических и оптических параметров материала. Причиной существования критических значений является изменение соотношения между кинетическими параметрами, определяющими характер движения комплексов на поверхности пленок в процессе их роста. Показано, что изменение условий формирования пленок приводит к изменению их морфологии и, как следствие, спектров локализованных состояний, определяющих электрофизические и оптические свойства материала.
  • В.А. Лигачев, В.А. Филиков. ФТП, 25, 133 (1991)
  • В.А. Лигачев, В.Н. Гордеев, В.А. Филиков, Х. Сулеман. ФТП, 25, 1536 (1991)
  • V.A. Ligachov. \it Proc. 35th Int. Kolloq. TH Ilmenau (Ilmenau, DDR, 1990) pt. 4, p. 56
  • Й. Тавада. В кн.: \it Аморфные полупроводники и приборы на их основе, под ред. Й. Хамакава (М., 1986) с. 376
  • А. Меден, М. Шо. \it Физика и применение аморфных полупроводников (М., 1991)
  • Дж. Люковски, У. Поллард. В кн.: \it Физика гидрогенизированного аморфного кремния, под ред. Дж. Джоунопулоса, Дж. Люковски (М., 1988) вып. 2, с. 448
  • Н.Н. Свиркова, В.А. Филиков, В.А. Лигачев. ФТП, 28, 2109 (1994)
  • M. Vanecek, A. Abraham, O. Stika, J. Stuchlik, J. Kocka. Phys. St. Sol. (a), 83, 617 (1984)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.