Метод разложения силана на постоянном токе в магнитом поле впервые испытан для получения пленок нелегированного a-Si:H при температурах осаждения 300/400oC. Показано, что оптимизация параметров процесса позволяет получить материал приборного качества с содержанием водорода до 2 ат%. Примененный метод обеспечивает варьирование значения микроструктурного параметра R, характеризующего соотношение SiH- и SH2-связей, в интервале 0--1.0.
О.А. Голикова, М.М. Казанин, О.И. Коньков, В.Х. Кудоярова, Е.И. Теруков. ФТП, 30, 405 (1996)
G. Ganguly, A. Matsuda. Phys. Rev. B, 47, 3881 (1993)
U. Kroll, J. Maier, M. Goetz, A. Howling, J.-L. Dorier, J. Dutla, A. Shah, Ch. Hollenstein. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 59 (1993)
N.M. Johnson, P.V. Santos, C.E. Nebel, W.B. Jackson, R.A. Street, K.S. Stevens, J. Walker. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 235 (1991)
V.L. Dalal, M. Leonard, G. Baldin. J. Non-Cryst. Sol., 164/166, 71 (1993)
R. Zedlitz, F. Kessler, M. Heintze. J. Non-Cryst. Sol., 164/166, 83 (1993)
M. Vanecek, B.P. Nelson, A.H. Mahan, R.S. Crandall. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 191 (1991)
J.R. Liang, N. Maley, J.R. Abelson. J. Appl. Phys., 75, 3704 (1994)
R. Meaudre, M. Meaudre, S.Vignoli, P. Roca i Cabarrocas, Y. Bouizem, M.L. Theve. Phil. Mag. B, 67, 4978 (1993)
S.J. Jones, Y. Chen, D.L. Willamon, U. Kroll, P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 164/166, 119 (1993)
F.D. Emichelis, A. Tagliaferro. Phil. Mag. B, 61, 867 (1990)
V. Marachonov, N.A. Rogachev, E.I. Terukov, J.T. Ishkalov, V.E. Chelnokov. J. Non-Cryst. Sol., 137/138, 817 (1991)
R.M.A. Dawson, C.M. Fortmann, M. Gunes, Y.M. Li, S.S. Nag, R.W. Collins, C.R. Wronski. Appl. Phys. Lett., 63, 955 (1993)
W. Grevendonk, M. Verluyten, J. Dauwen, G.J. Adriaenssens, J. Bezemer. Phil. Mag. B, 61, 393 (1990)