"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние электронно-лучевой обработки на контакт титан-кремний
Чапланов А.М.1, Шибко А.Н.1, Лазаренко А.В.1, Чебуков Е.С.1, Энгелько В.И.1, Бортнянский А.Л.1, Клопенков М.Л.1, Павловец М.В.1
1Институт электроники АН БССР, Минск
Выставление онлайн: 17 февраля 1991 г.

Исследовались структурные и фазовые превращения, изменение электрофизических параметров контакта титан-кремний при импульсном электронно-лучевом воздействии. Длительность импульса тока составляла ~10 мкс. Показано, что при электронной обработке стимулируются диффузия атомов титана в кремниевую подложку, а также выход атомов кремния на поверхность образца с образованием силицида и дисилицида титана. Образование новых фаз влияет на изменение электрофизических параметров контакта. Методом обратного резерфордовского рассеяния исследуется граница раздела титан-кремний после электронной обработки контакта.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.