Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Синтез тонких пленок рутила с проводимостью p-типа
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия 
2Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
2Воронежский государственный технический университет, Воронеж, Россия
Поступила в редакцию: 28 февраля 2013 г.
Выставление онлайн: 20 января 2014 г.
Исследованы структура, электрофизические и оптические свойства гетероструктур, образующихся в процессах термической обработки и импульсной фотонной обработки в атмосфере кислорода, воздуха и азота пленок Ti на поверхности монокристаллических пластин кремния. Показано, что на воздухе при термической обработке формируется гетероструктура TiO2/Ti5Si3/Si-p, а при фотонной обработке - TiO2/TiSi2/Si-p. Установлено, что термическая обработка в кислороде пленок Ti, легированных Ni, приводит к формированию пленок рутила с ярко выраженной проводимостью n-типа. Термический отжиг пленок Ti на воздухе с последующей фотонной обработкой в среде азота приводит к формированию пленок рутила с проводимостью p-типа.
- G. Abstreiter, P. Schittenhelm, C. Engel, E. Silveira, A. Zrenner, D. Meertens, W. Jageret. Semicond. Sci Technol., 11, 1525 (1996)
- T. Trupke, J. Zhao, A. Wang, R. Corkish, M. Green. Appl. Phys. Lett., 82, 2996 (2003)
- Ж.И. Алфёров, В.М. Андреев, В.Д. Румянцев. ФТП, 38 (8), 937 (2004)
- A. Das, Y. Kotsar, E. Monroy, G.P. Dimitrakopulos, A. Lotsari, T. Kehagias, P. Komninou. Appl. Phys. Lett., 98, 201 911 (2011)
- S.A. Haque, S. Koops, N. Tokmoldin, J.R. Durrant, J. Huang, D.D.C. Bradley, E. Palomares. Adv. Mater., 19, 683 (2007)
- S. Das еt al. Mat. Chem. Phys. Lett., 127, 887 (2011)
- L.C.-K. Liau, C.C. Lin. Thin Sol. Films, 516, 1998 (2008)
- T. Umebayashi et al. J. Phys. Chem. Sol., 63, 1909 (2002)
- D.J. Mowbray, J.M. Martinez, J.M. Garc\`i a-Lastra, K.S. Thygesen, K.W. Jacobsen. J. Phys. Chem. C, 113, 12 301 (2009)
- H. Gao, J. Zhou, D. Dai, Y. Qu. Chem. Enh. Technol., 32, 867 (2009)
- Z. Zhao, Q. Liu. J. Phys. D: Appl. Phys., 41, 025 105 (2008)
- L.K. Randeniya, A. Bendavid, P.J. Martin, E.W. Preston. J. Phys. Chem. C, 111, 18 334 (2007)
- M. Batzill, E.H. Morales, U. Diebold. Phys. Rev. Lett., 96, 026 103 (2006)
- L. Moro, A. Paul, D.C. Lorents. J. Appl. Phys., 81 (9), 6140 (1997)
- A. Ordine et al. Surf. Coat. Technol., 133-134, 583 (2000)
- M. Diegel et al. Appl. Phys.: A, 66 (2), 183 (1998)
- F. Huisken et al. J. Nanoparticle Res., 293 (1999)
- M. Losurdo et al. Phys. Status Solidi A, 203 (7), 1607 (2009)
- В.М. Иевлев, C.Б. Кущев, А.Н. Латышев, О.В. Овчинников, Л.Ю. Леонова, М.С. Смирнов, А.А. Синельников, А.М. Возгорьков, М.А. Ивкова. Конденсированные среды и межфазные границы, 14 (2), 141 (2012)
- В.М. Иевлев, C.Б. Кущев, А.Н. Латышев, О.В. Овчинников, Л.Ю. Леонова, М.С. Смирнов, А.А. Синельников, А.М. Возгорьков, М.А. Ивкова. Материаловедение, 2, 31 (2013)
- В.М. Иевлев, С.В. Канныкин, С.Б. Кущев, А.А. Синельников, С.А. Солдатенко. Физика и xимия обработки материалов, 14, 5 (2011)
- В.М. Иевлев, С.Б. Кущев, В.И. Рубцов, С.А. Солдатенко, В.Н. Сарыкалин. Физика и химия обраб. материалов, 4, 62 (1987)
- R.L. Anderson. Sol. St. Electron, 5, 341 (1962)
- F. Peng, L. Cai, H. Yu, H. Wang, J. Yang. J. Sol. St. Chem., 181, 130 (2008)
- В.М. Фридкин, И.С. Желудев. Фотоэлектреты и электрофотографический процесс (М., Л., Изд-во АН СССР, 1960)
- В.И. Бугриенко. ФТТ, 6 (5) 1314 (1964).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
