"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Аномальное распределение германия, имплантированного в диэлектрический слой структуры КНИ, после отжига радиационных дефектов
Панкратов Е.Л.1, Гуськова О.П.2, Дроздов М.Н.3, Абросимова Н.Д.2, Воротынцев В.М.4
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е. Седакова, Нижний Новгород, Россия
3Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
4Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 17 июля 2013 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2014 г.

Исследован профиль распределения германия в структуре Si/SiO2/Si после имплантации 74Ge в диэлектрический слой SiO2, сращивания с приборным слоем Si и высокотемпературного отжига. Обнаружены аномально высокий перенос и накопление атомов 74Ge у границы SiO2/Si, удаленной от границы сращивания. Наблюдаемое распределение 74Ge не укладывается в рамки существующей модели диффузии Ge в Si и SiO2 при постимплантационном отжиге. Предложена модифицированная модель диффузии атомов Ge вблизи границ Si/SiO2, качественно объясняющая наблюдаемые особенности.
  • И.Е. Тысченко, М. Фельсков, А.Г. Черков, В.П. Попов. ФТП, 41, 301 (2007)
  • A. Markwitz, L. Rebohle, H. Hofmeister. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 147, 361 (1999)
  • О.П. Гуськова, В.М. Воротынцев, Е.Л. Шоболов, Н.Д. Абросимова. ФТП, 46 (4), (2012)
  • И.Е. Тысченко, М. Фельсков, А.Г. Черков. ФТП, 43, 58 (2009)
  • M. Ogino, Y. Oana, M. Watanabe. Phys. Status. Solidi A, 72, 535 (1982)
  • А.И. Райченко. Математическая теория диффузии в приложениях (Киев, Наук. думка, 1981)
  • Г. Карслоу, Д. Егер. Теплопроводность твердых тел (М., Наука, 1964)
  • E.L. Pankratov. Phys. Rev. B, 72,075 201 (2005)
  • E.L. Pankratov. J. Comp. Theor. Nanosci. 9, 41 (2012)
  • E.L. Pankratov, E.A. Bulaeva. Int. J. Nanosci. 11, 1250 028 (2012)
  • E.L. Pankratov, E.A. Bulaeva. Rev. Theoretical Sci., 1, 58 (2013)
  • А.Н. Тихонов, А.А. Самарский. Уравнения математической физики (М., Наука, 1972)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.