Исследована кинетика генерации термодоноров при температуре 430^oС в монокристаллах кремния с изовалентными примесями углерода, германия или олова. Обнаружено, что наличие в кристаллах высоких концентраций углерода (N⁰_C>~=10¹⁷ см^-3) или германия (N_Ge>~=10¹⁹ см^-3) приводит к менее эффективному образованию термодоноров. Кинетика их генерации описывается выражением N_ТД(tau)=N^max_ТДKD [1-exp(-(t/tau)ⁿ)], где n~ 1 в Si без изовалентных примесей, n=0.7-0.8 в Si<C> и n= 1.3-1.4 в Si<Ge>. Определены зависимости начальной скорости генерации термодоноров от исходных концентраций кислорода, углерода и германия в монокристаллах.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.