"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Сенсорные свойства по отношению к сероводороду и электропроводность поликристаллических пленок SnO2(Cu)
Акимов Б.А.1, Албул А.В.1, Гаськов А.М.1, Ильин В.Ю.1, Лабо М.2, Румянцева М.Н.1, Рябова Л.И.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Национальный Политехнический институт, Гренобль, Франция
Поступила в редакцию: 26 февраля 1996 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1997 г.

Исследовано влияние легирования медью на сенсорные свойства и электропроводность поликристаллических пленок SnO2(Cu). Установлено, что при комнатной температуре после экспонирования пленок в H2S наблюдается явление остаточной проводимости. Это позволило определить характер низкотемпературной проводимости пленок в условиях различной степени насыщения сероводородом. Сопоставление полученных данных с результатами послойного элементного анализа позволило предложить модель, объясняющую механизм газовой чувствительности SnO2(Cu) к сероводороду. В отличие от традиционных для газовых сенсоров механизмов, связанных с работой поверхности, в рассматриваемом случае изменение проводимости обусловлено химическим взаимодействием электрически активной меди с серой во всем объеме пленки, что и определяет селективность и повышенную чувствительность SnO2(Cu) к H2S.
  • W. Gopel. Progr. Surf. Sci., 20, 9 (1985)
  • K. Takahata. Chemical sensor technology, (N.Y., Amsterdsam Elsevier, 1988). ed. by T. Seyama. v. 84, p. 441
  • T. Maekawa, J. Tamaki, N. Miura, N. Yamazoe. Chem. Lett., 4, 575 (1991)
  • J. Tamaki, T.Maekawa, N. Miura, N. Yamazoe. Sensors and Actuators, 9, 197 (1992)
  • А.М. Гаськов, Л.И. Рябова, М. Лабо, Ж. Делабуглиз, М.Н. Румянцева, Т.А. Кузнецова, М.Н. Булова. Неорг. химия, 41, 989 (1996).
  • K.D. Schierbaum, U.K. Kirner, J.F. Geiger, W. Gopel. Sensors and Actuators B, 4, 87 (1991)
  • M. Labeau, B. Gautheron, F. Celier, M. Vallet-Regi, E. Garcia, J.C. Gonzales-Calbert. J. Sol. St. Chem., 102, 379 (1993)
  • M. Labeau, P. Rey, J.L. Deschanvres. J.C. Joubert, G.Delabouglise. Thin Sol. Films, 213, 94 (1992)
  • C.J. Fonstad, R.H. Rediker. J. Appl. Phys., 42, 2911 (1971).
  • Р.М. Вощилова, Д.П. Димитров, Н.И. Долотов, А.Р. Кузьмин, А.В. Махин, В.А. Мошников, Ю.М. Таиров. ФТП, 29, 1987 (1995)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.