"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование параметров глубоких центров в эпитаксиальных слоях n-6H SiC, полученных газофазной эпитаксией
Лебедев А.А.1, Давыдов Д.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 28 ноября 1996 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1997 г.

Методами емкостной спектроскопии проведено исследование эпитаксиальных слоев 6H-SiC, полученных газофазной эпитаксией. Показано, что в исследованных образцах имеются те же глубокие центры, которые ранее были обнаружены в эпитаксиальных слоях SiC, полученных сублимационной эпитаксией. Однако суммарная концентрация глубоких акцепторов в структурах, изготовленных газофазной эпитаксией, на 2/3 порядка меньше, чем в эпитаксиальных пленках, полученных сублимационной эпитаксией при том же значении Nd-Na. Высказываются предположения о возможном влиянии условий роста эпитаксиальных слоев на концентрацию и тип образующихся в них дефектов.
  • J.W. Palmor, J.A. Edmond, H.S. Kong, C.H. Carter, Jr. Physica B, 185, 461 (1993)
  • O. Kordina, J.P. Bergman, A. Henry, E. Jansen, S. Savage, J. Andre, L.P. Ramberg, U. Lindefelt, W. Hermansson, K. Bergman. Appl. Phys. Lett., 67, 1561 (1995)
  • A.A. Lebedev, A.S. Tregubova, A.A. Glagovskii, M.P. Scheglov, V.E. Chelnokov. Abstracts E-MRS Conf. June 4--7, Strasbourg, France (1996) p. A-15
  • A.A. Lebedev, A.M. Strel'chuk, S. Ortolland, C. Raynaud, M.L. Locatelli, D. Planson, J.P. Chante. Inst. Phys. Conf. (IOP, Bristol, 1996) N 142, Chapter 4, p. 701
  • N.S. Savkina, A.A. Lebedev, M.G. Rastegaeva, A.M. Strel'chuk, A.A. Mal'tsev, V.E. Chelnokov, N.K. Poletaev. Inst. Phys. Conf. (IOP, Bristol, 1996) N 142, Chapter 3, p. 501
  • G.G.B. Garret, W.H. Brattain. Phys. Rev. B, 19, 376 (1970).
  • А.А. Лебедев, Д.В. Давыдов, К.И. Игнатьев. ФТП, 30, 1865 (1996)
  • D.V. Lang. J. Appl. Phys., 45, 3023 (1974)
  • Н.И. Кузнецов. ПТЭ, N 6, 163 (1990)
  • A.A. Lebedev, V.E. Chelnokov. Diamond films and Related Mater., 3, 1393 (1994)
  • М.М. Аникин, А.А. Лебедев, А.Л. Сыркин, А.В. Суворов. ФТП, 19, 114 (1985)
  • В.С. Баландович. ФТП, 25, 287 (1992)
  • А.Н. Андреев, М.М. Аникин, А.А. Лебедев, Н.К. Полетаев, А.М. Стрельчук, А.Л. Сыркин, В.Е. Челноков. ФТП, 28, 729 (1994)
  • В.В. Макаров, Н.Н. Петров. ФТТ, 8, 1272 (1966)
  • А.А. Лебедев, М.П. Щеглов, Т.В. Соколова. Письма ЖТФ, 16, 49 (1995)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.