Применение упругого рассеяния света среднего инфракрасного диапазона для исследования процесса внутреннего геттерирования в кремнии, выращенном методом Чохральского
Калинушкин В.П.1, Бузынин А.Н.1, Мурин Д.И.1, Юрьев В.А.1, Астафьев О.В.1
1Институт общей физики Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 27 декабря 1996 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1997 г.
Методом малоуглового рассеяния света среднего инфракрасного диапазона выполнено исследование влияния процесса внутреннего геттерирования на крупномасштабные дефекты в монокристаллическом кремнии, выращенном методом Чохральского и легированном бором. Проведена классификация крупномасштабных дефектов в исходном материале и кристаллах, подвергнутых процедуре внутреннего геттерирования. Показана применимость метода малоуглового рассеяния света как для лабораторных исследований, так и для промышленного контроля операций технологического цикла внутреннего геттерирования.
- В.П. Калинушкин. Тр. ИОФАН (М.), 4, 3 (1986). [Proc. Inst. Gen. Phys. Acad. Sci. USSR, 4 ( Laser Methods of Defect Investifations in Semicondectors and Dielectrics) 1 (N.Y., Nova 1988)]
- V.P. Kalinushkin, V.A. Yuryev, O.V. Astafiev. Proc. 1st Int. Conf. on Materials for Microelectronics (Barselona, 1994) [Mater. Sci. Technol., in the press]
- Е.Н. Гулидов, В.П. Калинушкин, Д.И. Мурин, М.Г. Плоппа, А.М. Прохоров, М.В. Шведенко, Б.Л. Эйдельман. Микроэлектроника, 14, 130 (1985)
- О.В. Астафьев, А.Н. Бузынин, А.И. Бувальцев, Д.И. Мурин, В.П. Калинушкин, М.Г. Плоппа. ФТП, 28, 407 (1994)
- V.P. Kalinushkin, A.N. Buzynin, V.A. Yuryev, O.V. Astafiev, D.I. Murin. Inst. Phys. Conf. Ser., 149, 219 (1996)
- В.П. Калинушкин, Д.И. Мурин, Т.М. Мурина и др. Микроэлектроника, 15, 523 (1986)
- V.P. Kalinushkin, V.A. Yuryev, D.I. Murin, M.G. Ploppa. Semicond. Sci. Technol., 7, A255 (1992)
- В.П. Калинушкин, В.А. Юрьев, Д.И. Мурин. ФТП, 25, 798 (1991)
- В.В. Воронков, Г.И. Воронкова, В.П. Калинушкин, Д.И. Мурин, Т.М. Мурина, А.М. Прохоров. ФТП, 18, 938 (1984)
- С.Е. Заболотский, В.П. Калинушкин, Д.И. Мурин, Т.М. Мурина, М.Г. Плоппа, А.М. Прохоров. ФТП, 21, 1364 (1987)
- А.Н. Бузынин, Н.А. Бутылкина, А.Е. Лукьянов, В.В. Осико, В.М. Татаринцев, А.М. Эйдензон. Изв. АН СССР. Сер. физ., 52, 1387 (1988)
- А.Н. Бузынин, С.Е. Заболотский, В.П. Калинушкин, А.Е. Лукьянов, Т.М. Мурина, В.В. Осико, М.Г. Плоппа, В.М. Татаринцев, А.М. Эйдензон. ФТП, 24, 264 (1990)
- O.V. Astafiev, V.P. Kalinushkin, V.A. Yuryev. Mater. Sci. Eng. (B), 34, 124 (1995)
- О.В. Астафьев, В.П. Калинушкин, В.А. Юрьев. Микроэлектроника, 24, 472 (1995)
- О.В. Астафьев, В.П. Калинушкин, В.А. Юрьев. Письма ЖТФ, 21, вып. 11, 52 (1995)
- O.V. Astafiev, V.P. Kalinushkin, V.A. Yuryev. Inst. Phys. Conf. Ser., 146, 775 (1995)
- О.В. Астафьев, В.П. Калинушкин, В.А. Юрьев. Микроэлектроника, 25, 41 (1996)
- O.V. Astafiev, V.P. Kalinushkin, V.A. Yuryev. Inst. Phys. Conf. Ser., 149, 361 (1996)
- O.V. Astafiev, V.P. Kalinishkin, V.A. Yuryev, A.N. Buzynin, N.I. Bletskan. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 378, 615 (1995)
- V.P. Kalinushkin, D.I. Murin, V.A. Yuryev, O.V. Astafiev, A.I. Buvaltsev. Proc. 2nd Int. Symp. on Advanced Laser Technologies (Prague, 1993) [Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng., 2332, 146 (1994)]
- О.В. Астафьев, А.И. Бувальцев, В.П. Калинушкин, Д.И. Мурин, В.А. Юрьев. Поверхность, вып. 4, 79 (1995)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук