"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Состав и пористость многокомпонентных структур: пористый кремний как трехкомпонентная система
Беляков Л.В.1, Макарова Т.Л.1, Сахаров В.И.1, Серенков И.Т.1, Сресели О.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1998 г.

На примере системы пористый кремний (por-Si)--кремний (Si) показана возможность эффективного неразрушающего исследования морфологии границы раздела полупроводниковых слоистых систем, а также состава многокомпонентных слоев методами эллипсометрии и резерфордовского обратного рассеяния. Обоими методами определен процентный состав основных компонентов por-Si: кристаллического кремния, оксида кремния и пустот (пористость). Показано, что por-Si, полученный импульсным анодированием, содержит значительное количество оксида кремния. Показано также, что спектральная эллипсометрия позволяет определить удельное соотношение отдельных слоев или компонент многослойных и многокомпонентных систем (при знании спектральной дисперсии оптических констант этих компонент).
  • K.V. Shcheglov, C.M. Yang, K.J. Vahala, H.A. Atwate. Appl. Phys. Lett., 66, 745 (1995)
  • P. Mutti, G. Ghislotti, S. Bertoni, L. Bonoldi, G.F. Cerofolini, L. Meda, E. Grilli, M. Guzzi. Appl. Phys. Lett., 66, 851 (1995)
  • D. Wang, J. Zuo, O. Zhang, Y. Luo, Y. Ruan, Z. Wang. J. Appl. Phys., 81, 1413 (1997)
  • S. Sathahiah, R.A. Zagraro, M.T.T. Pacheco, L.S. Grigorian, K. Yakushi. J. Appl. Phys., 81, 2400 (1997)
  • Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1983)
  • В.В. Афросимов, Г.О. Дзюба, Р.Н. Ильин, М.П. Панов, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков, Е.А. Ганза. ЖТФ, 66, вып. 12, 76 (1996)
  • D.A.G. Bruggemann. Annalen der Physik, 24, 636 (1935)
  • D.E. Aspnes, A.A. Studna. Phys. Rev. B, 29, 985 (1983)
  • W.K. Chu, J. Majer, M.-A. Nickolet. Backscattering Spectrometry (Academic Press, N.Y., 1978)
  • Л.В. Беляков, Д.Н. Горячев, О.М. Сресели. Письма ЖТФ, 22, 97 (1996)
  • D.I. Kovalev, I.D. Yaroshetzkii, T. Muschik, V. Petrova-Koch, F. Koch. Appl. Phys. Lett., 64, 214 (1994)
  • C.H. Villeneuve, J.E. Peou, C. Levy-Clement, P. Allongue. Abstracts 191 ECS Meeting (Montreal, Canada, 1997) 97-1, p. 182
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.