"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Сравнительное исследование оптических свойств пористого кремния и оксидов SiO и SiO2
Образцов А.Н.1, Тимошенко В.Ю.1, Окуши Х.2, Ватанабе Х.2
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Электротехническая лаборатория, Цукуба, Япония
Поступила в редакцию: 8 июня 1998 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1999 г.

Представлены результаты сравнительного исследования оптического поглощения и фотолюминесценции в слоях пористого кремния, оксидах кремния (SiO и SiO2) и порошкообразном кремнии. Обнаружена корреляция положения края полосы поглощения, определяемого по данным фотоакустической спектроскопии, а также спектров фотолюминесценции со степенью окисления кремния. Для образцов пористого кремния выявлено различие частотных зависимостей фотоакустического сигнала от энергии квантов возбуждающего света.
  • A.G. Gullis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys., 82, 909 (1997)
  • G. Bomchil, A. Halimaouri, R. Herino. Appl. Surf. Sci., 41/42, 604 (1989)
  • Н.Е. Корсунская, Т.В. Торчинская, Б.Р. Джумаев, Б.М. Булах, О.Д. Смиян, А.Л. Капитанчук, С.О. Антонов. ФТП, 30, 1507 (1996).
  • W.E. Carlos, S.M. Prokes. J. Vac. Sci. Technol. B, 13, 1653 (1995)
  • H. Tamura, M. Ruckschloss, T. Wirschem, S. Vepv rek. Thin Sol. Films, 255, 92 (1995)
  • A. Rosencwaig. Photoacoustics and Photoacoustic Spectroscopy (Wiley \& Sons, 1980) p. 95.
  • А.Н. Образцов, Х. Окуши, Х. Ватанабе, В.Ю. Тимошенко. ФТП, 31, 629 (1997)
  • A.N. Obraztsov, I.Yu. Pavlovsky, T. Izumi, H. Okushi, H. Watanabe. Appl. Phys. A, 65, 505 (1997)
  • F.L. Gakeener, A.E. Geissberg. J. de Phys. C9, 43, 343 (1982)
  • H.R. Philipp. J. Phys. Chem. Sol., 32, 1935 (1971).!! vadjust !!
  • А.Н. Образцов, В.А. Караванский, Х. Окуши, Х. Ватанабе. Поверхность, N 1, 64 (1998)
  • В.А. Караванский, А.Н. Образцов. ФТП, 29, 582 (1995).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.