Методом совмещенной фототермоакустической и фотоэлектрической микроскопии исследованы структуры на основе кремния: эпитаксиально выращенная область n-типа в p-подложке; граница раздела p-p+, полученная имплантацией ионов бора; область вблизи вершины трещины. Делается вывод, что наиболее вероятной причиной визуализации областей эпитаксии тепловыми волнами являются упругие напряжения, возникающие в процессе изготовления структур. Показано, что пространственное распределение упругих напряжений, возникающих при ионной имплантации, визуализируется тепловыми волнами. В области вблизи вершины трещины тепловыми волнами и волнами электронно-дырочной плазмы диагностируются неоднородности в термоупругих и электрических свойствах протяженностью в сотни микрон. Обнаружена пространственная периодичность в изменениях термоупругих свойств вблизи вершины трещины с периодом ~ 85 мкм.
A. Rosencwaig. Photoacoustics and Photoacoustic Spectroscopy (N. Y., John Wiley, 1980)
A. Rosencwaig, G. Busse. Appl.Phys. Lett., 36, 725 (1980)
B.C. Forget, I. Barberean, D. Furnnier, S. Tuli, A.B. Battacharyya. Appl. Phys. Lett., 69, 1107 (1996)
А.Н. Васильев, В.А. Сабликов, В.В. Сандомирский. Изв. вузов. Физика, 30, вып. 6, 119 (1987)
J. Opsal, A. Rosencwaig. Appl. Phys. Lett., 47, 498 (1985)
Р.М. Бурбело, А.Л. Гуляев, А.Г. Кузьмич, И.Я. Кучеров. ЖТФ, 66, 121 (1996)
Photoacoustic and Photothermal Phenomena. J. Progress in Natural Science, Suppl. to v. 6 (Science in China Press, Beijing, 1996)
W. Kipert, H.-J. Obramski, R. Meckenstack, J. Pelzl, D. Fournier, V. Zammit. J. Progress in Natural Science, Suppl. to v. 6 (Science in China Press, Beijing, 1996) p. 524
J. He, S.Y. Zhang, Z.L. Qian, Y.Y. Guo, H.B. Wang. J. Progress in Natural Science, Suppl. to v. 6 (Science in China Press, Beijing, 1996) p. 531
Г.И. Булах, Р.М. Бурбело, А.Л. Гуляев, И.Я. Кучеров. ФТП, 24, 926 (1990)
В.Г. Литовченко, А.П. Горбань. Основы физики микроэлектронных систем металл--диэлектрик--полупроводник (Киев, Наук. думка. 1978) с. 316
Г. Матаре. Электроника дефектов в полупроводниках (М., Мир, 1974) с. 463
P. Zavmsil, V. Winter, F. Cembal, M. Servidori, Z. Sovrek. Phys. St. Sol. (a), 100, 95 (1987)
R.M. Burbelo, M.K. Zhabitenko. J. Progress in Natural Science, Suppl. to v. 6 (Science in China Press, Beijing, 1996) p. 720
W. Jackson, N.M. Amer. J. Appl. Phys., 51, 3343 (1980)
В.А. Калитенко, И.Я. Кучеров, В.М. Перга, В.А. Тхорик. ФТТ, 30, 3677 (1988)