"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Регистрация парамагнитных центров рекомбинации в облученном протонами кремнии
Власенко Л.С.1, Власенко М.П.1, Козлов В.А.1, Козловский В.В.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 28 декабря 1998 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1999 г.

Методами спин-зависимой рекомбинации зарегистрированы спектры электронного парамагнитного резонанса центров рекомбинации в тонком (~1 мкм) приповерхностном слое кремния p-типа, выращенного методом Чохральского и облученного протонами с энергией ~100 кэВ. Обнаружены спектры возбужденных триплетных состояний комплексов кислород + вакансия (A-центры) и комплексов, состоящих из двух атомов углерода и межузельного атома кремния (комплексы CS--SiI--CS). Максимальная интенсивность спектров электронного парамагнитного резонанса этих радиационных дефектов наблюдается при дозах облучения ~1013 см-2 и уменьшается с увеличением дозы, что связано, по-видимому, с пассивацией радиационных дефектов водородом.
  • Вопросы радиационной технологии полупроводников. Под ред. Л.С. Смирнова (Новосибирск, Наука, СО АН СССР, 1980)
  • V.V. Kozlovski, V.N. Lomasov, L.S. Vlasenko. Rad. Eff., 106, 37 (1988)
  • Радиационные процессы в технологии материалов и изделий электронной техники, под ред. В.В. Козловского и В.С. Иванова (М., Энергоатомиздат, 1997)
  • H. Lutgemeier, K. Schnitzke. Phys. Lett., A, 25, 232 (1967)
  • В.А. Ботвин, Ю.В. Горелкинский, В.О. Сигле, М.А. Чубисов. ФТП, 6, 1683 (1972)
  • Ю.В. Горелкинский, Н.Н. Невинный. Письма ЖТФ, 13, 105 (1987)
  • Л.С. Власенко, М.П. Власенко, В.А. Храмцов, В.Н. Ломасов. ЖЭТФ, 91, 1037 (1986)
  • Л.С. Власенко, В.А. Храмцов. Письма ЖТФ, 11, 909 (1985)
  • L.S. Vlasenko. Proc. 20th Int. Conf. Phys. Semicond., ed. by E.V. Anastassakis and J.D Joannopoulos (Thessaloniki, Greece, 1990) p. 714
  • K.L. Brower. Phys. Rev. B, 4, 1968 (1971)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.