"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности роста пленок a-C : H и a-C : H<Cu> при магнетронном распылении
Звонарева Т.К.1, Иванов-Омский В.И.1, Нащекин А.В.1, Шаронова Л.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 августа 1999 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1999 г.

Рассматриваются особенности роста пленок a-C : H и a-C : H<Cu>, полученных магнетронным сораспылением графитовой и медной мишеней в аргоно-водородной атмосфере. Пленки исследованы методами инфракрасной спектроскопии, сканирующей электронной микроскопии и эллипсометрии. Показано, что введение меди в аморфный гидрогенизированный углерод не приводит к заметному изменению углерод-водородных связей в матрице. В пленках a-C : H<Cu> толщиной ~ 2 мкм обнаружен прилегающий к подложке тонкий однородный слой (~1000 Angstrem), который сменяется текстурой, ориентированной от подложки к поверхности. Проведен анализ результатов эллипсометрических измерений в рамках двуслойной модели пленки.
  • J. Robertson. Adv. Phys., 35, 317 (1986)
  • J. Jiao, S. Seraphin. J. Appl. Phys., 83(5), 2442 (1999)
  • Th. Gabioc'h, A. Naudon, M. Jaouen, D. Thiaudiere, D. Babonneau. Phil. Mag. B, 79(3), 501 (1999)
  • V.I. Ivanov-Omskii. In: Diamond Based Composites and Related Materials, v. 38, ed. by M. Prelas, A. Benedictus, L-T.S. Lin, G. Popovici, P. Gielisse (Kluwer Acad. Publishers, Dordrecht, 1997) p. 171 [NATO ASI Ser. 3 (1997)]
  • В.И. Иванов-Омский, Э.А. Сморгонская. ФТП, 32(8), 931 (1998)
  • G.A.J. Amaratunga, S.R.P. Silva. Appl. Phys. Lett., 68(18), 2529 (1996)
  • S.R.P. Silva, G.A.J. Amaratunga, J.R. Barnes. Appl. Phys. Lett., 71(11), 1477 (1997)
  • В.И. Иванов-Омский, С.Г. Ястребов, А.О. Голубок, С.А. Масалов, В.В. Розанов. Письма ЖТФ, 24(20), 28 (1998)
  • Т.К. Звонарева, Л.В. Шаронова. ФТП, 33(6), 742 (1999)
  • B. Dischler, A. Bubenzer, P. Koidl. Sol. St. Commun., 48, 105 (1983)
  • D.R. McKenzie, R.C. McPhedran, N. Savvides, D.J.H. Cockaune. Thin Sol. Films, 108, 247 (1983)
  • I.P. Ipatova, V.G. Malyshkin, A.A. Maradudin, V.A. Shchukin, R.F. Wallis. Phys. Rev. B, 57(20), 12 968 (1998)
  • Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1981)
  • P.B. Johnson, R.W. Christy. Phys. Rev. B, 6(12), 4370 (1972)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.