"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности пространственного перераспределения атомов селена, имплантированных в кремний
Таскин А.А.1, Зайцев Б.А.1, Ободников В.И.1, Тишковский Е.Г.1
1Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 19 января 1999 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.

Методом масс-спектрометрии вторичных ионов исследовано пространственное распределение атомов селена, имплантированных в кремний, после отжига в диапазоне температур 600-1200oC. Для доз облучения, превышающих дозу аморфизации кремния, обнаружено образование пика концентрации атомов селена за областью среднего проецированного пробега. Пространственное положение максимума пика хорошо коррелирует с пространственным положением плоскости, в которой расчетная величина плотности потерь энергии ионов селена на упругие соударения (TRIM) соответствует критическому значению для аморфизации кремния. Накопление примеси в пике происходит при температурах 700oC и выше после рекристаллизации аморфизованного слоя. Перераспределение атомов селена в глубь образцов за счет диффузии определяется температурной зависимостью растворимости селена в кремнии.
  • E. Sorman, W.M. Chen, A. Henry, S. Andersson, E. Janzen, B. Monemar. Phys. Rev. B, 51, 2132 (1995)
  • M. Thiagarajan, K. Iyakutti, E. Palaniyandi. Phys. St. Sol. ( b), 205, 553 (1998)
  • H.R. Vydyanath, J.S. Lorenzo, F.A. Kroger. J. Appl. Phys., 49, 5928 (1978)
  • E. Janzen, R. Stedman, G. Grossmann, H.G. Grimmeiss. Phys. Rev. B, 29, 1907 (1984)
  • R.W. Jansen, O.F. Sankey. Phys. Rev. B, 33, 3994 (1985)
  • H. Overhof, M. Scheffer, C.M. Weinert. Phys. Rev. B, 43, 12 494 (1991)
  • А.А. Таскин, Е.Г. Тишковский. ФТП, 32, 1306 (1998)
  • K.S. Jones, S. Prussin, E.R. Weber. Appl. Phys. A, 45, 1, (1988)
  • J.F. Gibbons. Proc. IEEE, 60, 1962 (1972)
  • S. Prussin, D.I. Margolese, R.N. Tauber. J. Appl. Phys., 57, 180 (1985)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.