"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Краевая ультрафиолетовая люминесценция активированных в плазме азота пленок GaN : Zn
Георгобиани А.Н.1, Грузинцев А.Н.2, Аминов У.А.1, Воробьев М.О.1, Ходос И.И.2
1Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
2Институт проблем технологии микроэлектроники Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 26 июня 2000 г.
Выставление онлайн: 20 января 2001 г.

Проведены исследования влияния отжига в плазме азота легированных цинком пленок нитрида галлия на спектры их фотолюминесценции, фотопроводимости, тип проводимости и морфологию поверхности. Обнаружено появление интенсивного ультрафиолетового краевого свечения с максимумом на длине волны 376 нм после высокотемпературного отжига в плазме азота. Набюдалось значительное уменьшение голубой донорно-акцепторной и экситонной фотолюминесценции отожженных образцов GaN : Zn.
  • S. Nakamura, S. Nagahama, N. Iwasa, M. Senoh, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, Y. Sugimoto. Appl. Phys. Lett., 68, 2105 (1996)
  • S. Nakamura, S. Nagahama, N. Iwasa, M. Senoh, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, Y. Sugimoto. Appl. Phys. Lett., 68, 3269 (1996)
  • S. Nakamura, S. Nagahama, N. Iwasa, M. Senoh, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, Y. Sugimoto. Appl. Phys. Lett., 69, 1477 (1996)
  • S. Nakamura, N. Iwasa, M. Senoh, T. Mukai. Japan. J. Appl. Phys., 31, L1258 (1992)
  • S. Nakamura, M. Senoh, T. Mukai. Japan. J. Appl. Phys., 31, L139 (1992)
  • У. Кайзер, А.Н. Грузинцев, И.И. Ходос, В. Рихтер. Неорг. матер., 6, 458 (2000)
  • J.C. Zolper, M. Hagerott Crawtord, A.J. Howard, J. Ramer, S.D. Hersee. Appl. Phys. Lett., 68, 200 (1996)
  • Н.И. Кацавец, G.M. Laws, I. Harrison, E.C. Larkins, T.M. Benson, T.S. Gheng, C.T. Foxon. ФТП, 32, 1175 (1998)
  • Y. Li, Y. Lu, H. Shen, M. Wraback, CY. Hwang, M. Schurman, W. Mayo. Mater. Res. Symp. Proc., 395, 369 (1996)
  • Т.В. Бутхузи, А.Н. Георгобиани, Е. Заде-Улы, Б.Т. Эльтазаров, Т.Г. Хулордава. Тр. ФИАН, 182, 140 (1987)
  • H. Amano, I. Akasaki, T. Kozawa, N. Sawaki, K. Ikeda. J. Luminecs., 4, 121 (1988)
  • A.N. Georgobiani, A.N. Guzintsev, A.V. Zayats, I.M. Tiginyanu. Semicond. Sci. Technol., 6, 165 (1991)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.