Методом нестационарной спектроскопии глубоких уровней исследовалось взаимодействие водорода с радиационными дефектами в кремнии p-типа проводимости. Водород вводился в кристаллы, облученные электронами с высокой энергией, при жидкостном химическом травлении в растворе азотной и плавиковой кислот при комнатной температуре и последующем отжиге с обратным смещением при 380 K. Обнаружено, что процесс пассивации радиационных дефектов сопровождается образованием новых электрически активных центров с водородозависимым профилем распределения. Впервые показано, что водород пассивирует электрическую активность комплексов CsCi. На основе данных о пространственном распределении дефектов и кинетики процесса пассивации проведен анализ возможной природы вновь образующихся центров. Определены радиусы захвата водорода дивакансиями, K-центрами, комплексами CsCi и новыми дефектами.
C.H. Seager, R.A. Anderson, J.K.G. Panitz. J. Mater. Res., 2 (1), 96 (1987)
S.J. Pearton, J.W. Cordett, M. Stavola. Hydrogen in Сrystalline Semiconductors (Berlin, Springer, 1992)
J.-U. Sachse, E.O. Sveinbjornsson, W. Jost, J. Weber, H. Lemke. Phys. Rev. B, 55, 16 176 (1997)
J.-U. Sachse, J. Weber, H. Lemke. Mater. Sci. Forum, 258--263, 307 (1997)
E.O. Sveinbjornsson, O. Engstrom. Phys. Rev. B, 52, 4884 (1995)
N. Yarykin, J.-U. Sachse, J. Weber, H. Lemke. Mater. Sci. Forum, 258--263, 301 (1997)
K. Irmscher, H. Klose, KJ. Maas. J. Phys. C, 17, 6317 (1984)
A. Hallen, B.U.R. Sundquist, Z. Paska, B.G. Svensson, M. Rosling, J. Tiren. J. Appl. Phys., 67, 1266 (1990)
O. Feklisova, N. Yarykin. Semicond. Sci. Technol., 12, 742 (1997)
Y. Tokuda. Japan. J. Appl. Phys., 37, 1815 (1998)
A.R. Peaker, J.H. Evans-Freeman, P.Y.Y. Kan, L. Rubaldo, I.D. Hawkins, K.D. Vernon-Parry, L. Dobaczewski. Physica B, 273--274, 243 (1999)
S. Fatima, C. Jagadich, J. Lalita, B.G. Svensson, A. Hallen. J. Appl. Phys., 85 (5), 2562 (1999)
G.D. Watkins. Radiation Damage in Semiconductors (Dunod, Paris, 1965)
G.D. Watkins. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 469, 139 (1997)
T. Zundel, J. Weber. Phys. Rev. B, 39, 13 549 (1989)
W. Song, X.D. Zhan, B.W. Benson, G.D. Watkins. Phys. Rev. B, 42, 5765 (1990)
P. Leary, R. Jones, S. Oberg. Phys. Rev. B, 57 (7), 3887 (1998)
N. Yarykin, J.-U. Sachse, H. Lemke, J. Weber. Phys. Rev. B, 59 (8), 5551 (1999)
P.M. Mooney, L.J. Cheng, M. Suli, J.D. Gerson, J.W. Corbett. Phys. Rev. B, 15 (8), 3836 (1977)
O. Feklisova, N. Yarykin, Eu. Yakimov, J. Weber. Phys. B, 273--274, 235 (1999)
С.В. Ковешников, С.В. Носенко, Е.Б. Якимов. ФТП, 22, (5), 922 (1988)
P.J. Drevinsky, C.E. Caefer, S.P. Tobin, J.C. Mikkelsen, L.C. Kimerling. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 104, 167 (1988)