"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Фотоэлектрическое C-V-профилирование концентрации основных и эффективного времен жизни неосновных носителей заряда в геттерированных пластинах GaAs
Андриевский В.Ф.1, Гореленок А.Т.2, Загорельская Н.А.1, Каманин А.В.2, Шмидт Н.М.2
1Институт электроники Национальной академии наук Беларуси, Минск, Белоруссия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 21 августа 2001 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2002 г.

Приведена методика фотоэлектрохимического C-V-профилирования концентрации основных и эффективного времен жизни неосновных носителей заряда в высокоомных толстых (1.6 мм) пластинах GaAs после их геттерирования как односторонним, так и двухсторонним покрытием пленкой иттрия и последующей термообработкой при температурах 700 и 800oC. Показано, что распределения концентрации Nd-Na и эффективного времени жизни неосновных носителей заряда по толщине пластин достаточно однородны в обоих случаях. Данная методика позволяет измерять концентрацию носителей до 1012 см-3.
  • L.J. van der Pauw. Philips Techn. Rev., 20, 220 (1958/59)
  • C. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 1
  • T. Ambridge, M.M. Factor. Electron. Lett., 10, 204 (1974)
  • A.V. Markov, A.Y. Polyakov, N.B. Smirnov, A.V. Govorkov, V.K. Eremin, E.M. Verbitskaya, V.N. Gavrin, Y.P. Kozlova, Y.P. Veretenkin, T.J. Bowles. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. A, 439, 651 (2000)
  • N. Shmidt, A. Gorelenok, V. Emtsev, A. Kamanin, A. Markov, M. Mezdrogina, D. Poloskin, L. Vlasenko. Sol. St. Phenomena, 69--70, 279 (1999)
  • J. Reichman. Appl. Phys. Lett., 36, 574 (1980)
  • В.Ф. Андриевский. Теория, методы и средства измерений и контроля параметров магнитных, полупроводниковых и диэлектрических материалов (Новочеркасск, 2000) ч. 4, с. 24
  • В.Ф. Андриевский, Е.В. Якименко, О.К. Муравицкий. А. с. 1611075 СССР, G 01 NL 27/22. Заявлено 23.03.89; Опубл. 1.08.90. (Бюл. изобретат., 1990)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.