"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Синтез пленок титаната стронция золь-гель методом и перспективы их применения в электронной технике
Сохраби Анараки Х.1, Гапоненко Н.В.1, Руденко М.В.1, Гук А.Ф.1, Завадский С.М.1, Голосов Д.А.1, Колосницын Б.С.1, Колос В.В.2, Петлицкий А.Н.2, Турцевич А.С.2
1Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Белорусссия
2ОАО "Интеграл", Минск, Белоруссия
Поступила в редакцию: 20 мая 2014 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2014 г.

Золь-гель методом получены пленки титаната стронция на подложках кремния и структурах кремний/оксид титана/платина. Фаза титаната стронция зарегистрирована методом рентгенофазового анализа после термообработки при температурах 750 и 800oC. Толщина пленок, полученных методом центрифугирования, возрастает от 50 до 250 нм с увеличением числа формируемых слоев и сопровождается ростом ее зерна. Обсуждаются перспективы развития золь-гель метода для формирования пленочных элементов электронной техники на основе ксерогелей SrTiO3.
  • L. Mechin, G.J. Gerritsma, J.G. Lopez. Physica C, 324, 47 (1999)
  • S. Baba, K. Numata, S. Miyake. Sci. Technol. Adv. Mater., 1, 211 (2000).
  • B.C. Russell, M.R. Castell. J. Phys. Chem. C, 112, 6538 (2008)
  • K. Fukushima, S. Shibagaki. Thin Sol. Films, 315, 238 (1998)
  • A.M. Kaiser, A.X. Gray, G. Conti, B. Jalan, A.P. Kajdos, A. Gloskovskii, S. Ueda, Y. Yamashita, K. Kobayashi, W. Drube, S. Stemmer, C.S. Fadley. Appl. Phys. Lett., 100, 261 603 (2012)
  • W. Chang, S.W. Kirchoefer, J.M. Pond, J.A. Bellotti, Syed B. Qadri. J. Appl. Phys., 96, 11 (2004)
  • T.M. Im, J.Y. Park, H.J. Kim, H.K. Choi, K.W. Jung, D. Jung. Bull. Korean Chem. Soc., 29, 427 (2008)
  • K. Katsumata, T. Shichi, A. Fujishima. J. Ceramic Soc. Japan, 118, 43 (2010)
  • S. Fuentes, R.A. Zarate, E. Chavez, P. Munoz, D. Diaz-Droguett, P. Leyton. J. Mater. Sci., 45, 1448 (2010)
  • W. Hofman, S. Hoffmann, R. Waster. Thin Sol. Films, 305, 66 (1997)
  • F.M. Pontes, E.R. Leite, E.J.H. Lee, E. Longo, J.A. Varela. J. Eur. Ceramic Soc., 21, 419 (2001)
  • S. Hirose, A. Nakayama, H. Niimi, K. Kageyama, H. Takagi. J. Appl. Phys., 104, 053 712 (2008)
  • M.H. Tang, Z.P. Wang, J.C. Li, Z.Q. Zeng, X.L. Xu, G.Y. Wang, L.B. Zhang, Y.G. Xiao, S.B. Yang, B. Jiang, J. He. Semicond. Sci. Technol., 26, 075 019 (2011)
  • D. Fernandez-Hevia, J. de Frutos, A.C. Caballero, J.F. Fernandez. J. Appl. Phys., 92, 2890 (2002)
  • N.V. Gaponenko. Synthetic Metals, 124, 125 (2001)
  • T.W. Kim, N.V. Gaponenko, E.A. Stepanovna, T.F. Kuznetsova, A.I. Rat'ko. J. Appl. Spectroscopy, 76, 833 (2009)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.