"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Условия устойчивого переключения в ячейках памяти на фазовых переходах
Попов А.И.1, Сальников С.М.1,2, Ануфриев Ю.В.1,2
1Национальный исследовательский университет "МЭИ", Москва, Россия
2Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 4 сентября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2015 г.

Разработаны и реализованы три типа ячеек энергонезависимой памяти различных конструкций на фазовых переходах. Рассмотрено влияние конструктивных особенностей ячеек и размеров активной области на характеристики переключения и работоспособность ячеек в целом. Причины отказов ячеек анализировались путем получения серии растровых электронных изображений при послойном травлении образцов. Показано, что с точки зрения переключения в высокоомное состояние конструкция ячейки является наиболее критическим фактором. Проанализированы причины этого и сформулирован критерий для обеспечения устойчивой работы ячеек энергонезависимой памяти на фазовых переходах.
  • A. Kolobov, J. Tominaga. Chalcogenides: Metastability and Phase Change Phenomena [ Springer Series in Materials Science (2012) v. 164]
  • Б.Т. Коломиец, Э.А. Лебедев. Радиотехника и электроника, 8, 2097 (1963)
  • S.R. Ovshinsky. Phys. Rev. Lett., 21 (20), 1450 (1968)
  • S.R. Ovshinsky. J. Non-Cryst. Sol., 2, 99 (1970)
  • A. Popov. Phys. Status Solidi B, 246 (8), 1837 (2009)
  • А.А. Айвазов, Б.Г. Будагян, С.П. Вихров, А.И. Попов. Неупорядоченные полупроводники (М., Изд-во МЭИ, 1995)
  • Г.Б. Наумов, Б.Н. Рыженко, И.Л. Ходаковский. Справочник термодинамических величин (Атомиздат, 1971)
  • Физико-химические свойства полупроводниковых веществ. Справочник (М., Наука, 1978)
  • A.I. Popov. Disordered Semiconductors (Pan Stanford Publishing Pte. Ltd, 2012)
  • Н.А. Богословский, К.Д. Цэндин. ФТП, 46 (5), 588 (2012)
  • S. Kostylev. J. Optoelectron. Adv. Mater., 11 (12), 1972 (2009)
  • D.L. Kencke, I.V. Karpov, B.G. Johnson, S.J. Lee, D.C. Kau, S.J. Hudgens, J.P. Reifenberg, S.D. Savransky, J. Zhang, M.D. Giles, G. Spadini. IEDM Tech. Dig. (Dec. 2007) p. 323
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.