"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Свойства нитрида алюминия, полученного методом реактивного ионно-плазменного распыления
Берт Н.А.1, Бондарев А.Д.1, Золотарев В.В.1, Кириленко Д.А.1, Лубянский Я.В.1, Лютецкий А.В.1, Слипченко С.О.1, Петрунов А.Н.1, Пихтин Н.А.1, Аюшева К.Р.1, Арсентьев И.Н.1, Тарасов И.С.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 1 апреля 2015 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2015 г.

Исследованы свойства диэлектрических покрытий SiO2, Al2O3 и AlN, полученных методом реактивного ионно-плазменного распыления. Методом оптической эллипсометрии определены показатели преломления диэлектрических покрытий SiO2, Al2O3, AlN, и показано, что нитрид алюминия является наиболее оптимальным материалом для достижения максимального просветления выходного зеркала полупроводникового лазера. Методом просвечивающей электронной микроскопии в пленках нитрида алюминия зарегистрирована кристаллическая фаза, соответствующая гексагональной атомной решетке, и содержание кислорода до 10 ат %. Установлено, что снижение концентрации остаточного кислорода в рабочей камере установки реактивного ионно-плазменного распыления позволяет исключить возникновение вертикальных пор в толще пленки нитрида алюминия.
  • Д.А. Лившиц, А.Ю. Егоров, И.В. Кочнев, В.А. Капитонов, В.М. Лантратов, Н.Н. Леденцов, Т.А. Налет, И.С. Тарасов. ФТП, 35 (3), 380 (2001)
  • M. Ettenberg, H. Kressel. IEEE J. Quant. Electron., 16 (2), 186 (1980)
  • K. Siddhartha Dradhan еt al. Surf. Coat. Technol., 76 (3), 382 (2004)
  • T.C. Chou, T.G. Nieh, S.D. McAdams, G.M. Pharr. Scripta Met., 25 (10), 2203 (1991)
  • G. Hoetzsch, O. Zywitzki, H. Sahm. 40th Annual Techn. Conf. of Society of Vacuum Coaters (New Orlean, USA, 1997)
  • И.В. Лунев, В.Г. Падалка. Металлофиз. новейшие технол., 22 (2), 36 (2000)
  • А.Л. Борисова, Д.И. Адеева, В.Н. Сладкова. Автом. сварка, N 9 (534), 26 (1997)
  • Л.А. Крушинская, Я.А. Стельмах. Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники (19), N 6, 92 (2011)
  • В.В. Тесленко-Пономаренко. Вопросы атомной науки и техники. Сер.: Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники (13), N 5, 175 (2003)
  • П.В. Середин, Д.Л. Голощапов, А.Н. Лукин, А.С. Леньшин, А.Д. Бондарев, И.Н. Арсентьев, Д.С. Вавилова, И.С. Тарасов. ФТП, 48 (11), 1564 (2014)
  • М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики (М., Наука, 1973)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.