"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние процессов самоорганизации, дефектов, примесей, а также автокаталитических процессов на параметры пленок и наностержней ZnO
Мездрогина М.М.1, Еременко М.В.1, Петров В.Н.1, Теруков Е.И.1,2, Левицкий В.С.2, Кайдашев Е.М.3, Лянгузов Н.В.3
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
3Южный Федеральный университет Ростов-на-Дону, Россия
Поступила в редакцию: 17 февраля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2015 г.

Исследовано влияние параметров нанесения пленок ZnO на различные материалы подложек при использовании магнетронного распыления на переменном токе в газовой смеси аргона и кислорода. Наблюдалось явление самоорганизации, приводящее к неизменности морфологии поверхности пленок ZnO при варьировании материалов подложки и параметров нанесения. Параметры спектров макро- и микрофотолюминесценции исследованных пленок ZnO незначительно отличались от параметров спектров фотолюминесценции объемных кристаллов ZnO, полученных методом гидротермального роста. Наличие интенсивного излучения с малой величиной FWHM в разных областях спектра дает возможность рассматривать пленки ZnO, полученные магнетронным распылением, легированные РЗИ, как перспективный материал при создании оптоэлектронных приборов, работающих в широком спектральном диапазоне. Возможность реализации магнитного упорядочения при легировании РЗИ существенно расширяет функциональные возможности пленок ZnO. Параметры спектров фотолюминесценции наностержней ZnO определяются геометрическими параметрами, концентрацией и типом введенных примесей.
  • С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ, 36 (5) 1258 (1994)
  • С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ, 37 (7), 2127 (1995)
  • Е.К. Гольман, В.И. Гольдрин, Д.А. Плоткин, С.В. Разумов, С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ, 39 (2), 216 (1997)
  • Y. Katsumata, T. Morita, Y. Morimoto, T. Shintani, T. Saikai. Appl. Phys. Lett., 105 (3), 31907 (2014)
  • A. Fallqvist, N. Ghafoor, H. Fager, L. Multman, P.O.A. Persson. Appl. Phys. Lett., 114, 224302 (2013)
  • М.М. Мездрогина, Г.Н. Мосина, Е.И. Теруков, И.Н. Трапезникова. ФТП, 35 (6), 714 (2001)
  • И.Р. Пригожин. От существующего к возникающему (М., Наука, 1985) с. 120
  • H.D. Cho, A.S. Zakirov, S.U. Yuldashev, C.W. Ahn, K.Yeo, T.W. Kang. Nanotechnology, 23, 115 401 (2012)
  • M. Law, L.E. Green, J.C. Johnson, R. Saykally, P.D. Yang. Nature Materials, 4, 455 (2005)
  • Ya.-Che. Li, Q. Cao, X-Y Hou. J. Appl. Phys., 113, 203 518 (2013)
  • P.M. Parthandel, R.E. Cavichi, M.R. Zacharian. Nanotechnology, 17, 3786 (2006)
  • Yu-Ch. Chen, E. Goering, L. Jeurgens, Z. Wang, F. Philipp, J. Baers, T. Teitze, G. Schutz. Appl. Phys. Lett., 103, 162 405 (2013)
  • N.H. Hong, J.Sakai, V. Brize. J. Phys.: Condens. Matter, 19, 036 219 (2007)
  • G-Z. Xing, Y.H. Lu, Y.F. Tian, J.B. Yi, C.C. Lim, Y.F. Li, G.P. Li, D.D. Wang, B. Yao, J. Ding, Y.F. Feng, T. Wu. AIP Adv., 1, 022 152 (2011)
  • A. Fallqvist, N. Ghafoor, H. Fager, L. Multman, P.O.A. Persson. Appl. Phys. Lett., 114, 224 302 (2013)
  • В.Г. Дубровский, Г.Э. Цырлин. ФТП, 39 (11), 1312 (2005)
  • С.А. Кукушкин, В.В. Слезов. Дисперсионные системы на поверхности твердых тел: механизмы образования тонких пленок (эволюционный подход) (СПб., Наука, 1996)
  • В.Г. Дубровский, Г.Э. Цырлин, В.М. Устинов. ФТП, 39 (5), 587 (2005)
  • S. Chalwa, M. Sahora, R.K. Kothla. Electron. Mater. Lett., 10 (1), 73 (2014)
  • М.М. Мездрогина, М.В. Еременко, С.М. Голубенко, С.Н. Разумов. ФТТ, 54 (6), 1155 (2012)
  • М.М. Мездрогина, Е.С. Москаленко, Ю.В. Кожанова, Н.К. Полетаев. ФТТ, 55 (5), 962 (2013)
  • W.H. Yadwisienzak, H.J. Lozucowsky, A.Xu, B. Patel. J. Electron. Mater., 31 (7) (2002)
  • N. Aghamalyan, R. Hovseryan, Y. Kafadaryan, R. Konstantyan, S. Petrosyan, A. Eganyan, M. Mezdrogina, R. Kuz'min J. Mater. Sci. Engin. B, 3 (2), 119 (2013)
  • S. Ivanova, F. Pelle. J. Opt. Soc. Am., B, 26 (10), 1930 (2009)
  • G. Brauer, W. Anwand. Phys. Rev. B, 79, 115112 (2009)
  • А.Н. Грузинцев, А.Н. Редькин, С. Opocu, М.Н. Шкунов. ФТП, 47 (4), 516 (2013)
  • М.М. Мездрогина, М.В. Еременко, В.С. Левицкий, Н.М. Лянгузов, В.М. Кайдашев, Е.И. Теруков, Ю.А. Шафир, Сб. тр. IX Междунаp. конф. "Аморфные и микрокристаллические полупроводники" (СПб., 2014) с. 128
  • T. Matsumoto, H. Kato, K. Miamoto, M. Sano, E. Zhukov. Appl. Phys. Lett., 81 (7), 1231 (2002)
  • Н.В. Лянгузов, Е.М. Кайдашев, И.Н. Захарченко, О.А. Бунина. Письма в ЖТФ, 39 (17), 27 (2013)
  • С. Моррисон. Химическая физика поверхности твердого тела (М., Мир, 1980) р. 38.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.