"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Состав и оптические свойства аморфных пленок a-SiOx:H с нанокластерами кремния
Терехов В.А.1, Теруков Е.И.2, Ундалов Ю.К.2, Паринова Е.В.1, Спирин Д.Е.1, Середин П.В.1, Минаков Д.А.1, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: ftt@phys.vsu.ru
Поступила в редакцию: 28 мая 2015 г.
Выставление онлайн: 20 января 2016 г.

Исследованы фазовый состав и оптические свойства гидрированных аморфных пленок субоксида кремния (a-SiOx:H) c нанокластерами кремния. Методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии установлено, что с помощью модуляции DC-разряда можно получить пленки субоксида кремния с разной степенью окисления и с различной концентрацией кластеров аморфного кремния. В пленках с содержанием ncl-Si около 50% наблюдается край оптического поглощения, экстраполяция которого дает оценки оптической ширины запрещенной зоны около 3.2-3.3 эВ. При этом в видимой области наблюдаются довольно интенсивные полосы фотолюминесценции, положение максимумов которых свидетельствует о формировании в этих пленках нанокластеров кремния с размерами 2.5 - 4.7 нм в зависимости от состава пленки.
  • V.A. Terekhov, V.M. Kashkarov, E.Yu. Manukovskii, A.V. Schukarev, E.P. Domashevskaya. J. Electron Spectroscopy and Relat Phenomena, 114--116, 895 (2001)
  • О.Б. Гусев, Ю.С. Вайнштейн, Ю.К. Ундалов, О.С. Ельцина, И.Н. Трапезникова, Е.И. Теруков, О.М. Сресели. Письма ЖЭТФ, 94 (5), 402 (2011)
  • Ю.К. Ундалов, Е.И. Теруков. ФТП, 49 (7), 887 (2015)
  • Т.М. Зимкина, В.А. Фомичев. Ультрамягкая рентгеновская спектроскопия (Л., Изд-во ЛГУ, 1971) c. 132
  • И.Н. Сарычева О.О. Янушевич, Д.А. Минаков. Патент РФ N 2464549 (2011)
  • G. Wiech, H.-O. Feldhutter, A. Simunek. Phys. Rev. B, 47 (12), 6981 (1993)
  • И.А. Брытов, В.А. Гриценко, Ю.Н. Ромащенко. ЖЭТФ, 89 (2), 562 (1985)
  • L. Patrone, D. Nelson, V. I. Safarov, M. Sentis, W. Marine, S. Giorgio. J. Appl. Phys., 87 (8), 3829 (2000)
  • G. Ledoux, J. Gong, F. Huisken, O. Guillois, C. Reynaud. J. Appl. Phys., 80 (25), 4834 (2002)
  • G. Allan, C. Delerue, M. Lannoo. Phys. Rev. Lett., 78, 3161 (1997)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.