Методом двухмерного флуктуационного анализа с исключенным трендом исследованы корреляционные свойства структуры пленок nc-Si/a-Si : H с различной объемной долей кристаллической фазы. Анализ рельефа поверхности экспериментальных образцов показал, что по мере увеличения объемной доли кристаллической фазы в пленках nc-Si/a-Si : H наблюдалось увеличение размера и количества нанокластеров на их поверхности. Размеры нанокристаллов Si в матрице a-Si : H (6-8 нм) указывают на то, что крупные нанокластеры образовались в результате самоорганизации нанокристаллов Si в группы при воздействии лазерного излучения. С помощью метода двухмерного флуктуационного анализа с исключенным трендом выявлено, что по мере увеличения доли нанокристаллов в пленках nc-Si/a-Si : H возрастало количество корреляционных векторов (гармонических составляющих) в их структуре.
D.L. Staebler, C.R. Wronski. J. Appl. Phys., 51, 3262 (1980)
C.R. Wronski, R.W. Collins. Solar Energy, 77, 877 (2004)
M.Y. Soro, M.E. Gueunier-Farret, J.P. Kleider. J. Appl. Phys., 109, 023 713 (2011)
J.P. Kleider, P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 299--302, 599 (2002)
T.Y. Choi, D.J. Hwang, C.P. Grigoropoulos. Opt. Eng., 42, 3383 (2003)
S.D. Sundaram, E. Masur. Nature. Materials, 1, 217 (2002)
J. Shieh, Z. Chen, B. Dai, Y. Wang, A. Zaitzev, C. Pan. Appl. Phys. Lett., 85, 1232 (2004)
X.C. Wang, H.Y. Zheng, C.W. Tan, F. Wang, H.Y. Yu, K.L. Pey. Opt. Express, 18, 19 379 (2010)
B.K. Nayak, M.C. Gupta. Appl. Phys. A, 89, 663 (2007)
G. Nicolis, I. Prigogine. Self-organization in nonequlibrium systems. From dissipative to order through fluctuations (N.Y., Wiley, 1977) p. 512
А.В. Емельянов, А.Г. Казанский, П.К. Кашкаров, О.И. Коньков, Е.И. Теруков, П.А. Форш, М.В. Хенкин, А.В. Кукин, M. Beresna, P. Kazansky. ФТП, 46, 769 (2012)
A.V. Emelyanov, A.G. Kazanskii, M.V. Khenkin, P.A. Forsh, P.K. Kashkarov, M. Gecevicius, M. Beresna, P.G. Kazansky. Appl. Phys. Lett., 101, 081 902 (2012)
A.V. Emelyanov, M.V. Khenkin, A.G. Kazanskii, P.A. Forsh, P.K. Kashkarov, M. Gecevicius, M. Beresna, P.G. Kazansky. Thin Sol. Films, 556, 410 (2014)
А.В. Алпатов, С.П. Вихров, Н.В. Гришанкина, С.М. Мурсалов. Вестн. РГРТУ, 4 (42), ч. 2, 12 (2012)
А.В. Алпатов, С.П. Вихров, Н.В. Гришанкина. ФТП, 47 (3), 340 (2013)
А.В. Алпатов, С.П. Вихров, Н.В. Рыбина. ФТП, 49 (4), 467 (2015)