"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Изучение профиля распределения железа, имплантированного в кремний
Кожемяко А.В.1, Балакшин Ю.В.2, Шемухин А.А.2, Черныш В.С.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
2Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, Москва, Россия
Email: anastasiia.kozhemyako@mail.ru
Поступила в редакцию: 23 ноября 2016 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2017 г.

Проведена имплантация ионов железа с энергиями 90, 250 кэВ и дозой облучения 1016 см-2 в монокристалл кремния с ориентацией (110). Методом резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием изучены профили распределения внедренной примеси, а также профили распределения радиационных дефектов в кристаллической решетке. Экспериментальные результаты сравниваются с результатами моделирования в программе TRIM. Показано, что при энергии 4.6 кэВ/нуклон средние проективные пробеги совпадают, однако при энергии 1.6 кэВ/нуклон различие составляет 35%. Кроме того показано, что расчет некорректно учитывает дозовую зависимость при энергиях 1.6-4.6 кэВ/нуклон. DOI: 10.21883/FTP.2017.06.44556.8460
  • Y. Zhang, H. Huang, D. Bi, M. Tang, Z. Zhang. Nucl. Instr. Meth. B, 319, 141 (2014)
  • B. Zheng, N. Iketa, Y. Takeda, K. Sato, R. Sato, H. Amekura, K. Oyoshi, M. Song, D. Ila, N. Kishimoto. Nucl. Instr. Meth. B, 272, 183 (2010)
  • А.А. Шемухин, А.В. Назаров, Ю.В. Балакшин, В.С. Черныш. Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед., N 3, 56 (2014)
  • A.A. Shemukhin, A.V. Nazarov, Yu.V. Balakshin, V.S. Chernysh. Nucl. Instr. Meth. B, 354, 274 (2015)
  • B.E. Kane. Nature, 393, 133 (1998)
  • J.J. Pla, K.Y. Tan, J.P. Dehollain, W.H. Lim, J.J. Morton, D.N. Jamieson, A.S. Dzurak, A. Morello. Nature, 489, 541 (2012)
  • M. Fuechsle, J.A. Miwa, S. Mahapatra, H. Ryu, S. Lee, O. Warschkow, L.C. Hollenberg, G. Klimeck, M.Y. Simmons. Nat. Nanotechnol., 7, 242 (2012)
  • M. Veldhorst, C.H. Yang, J.C.C. Hwang, W. Huang, J.P. Dehollain, J.T. Muhonen, S. Simmons, A. Laucht, F.E. Hudson, K.M. Itoh, A. Morello, A.S. Dzurak et al. Nature, 526, 410 (2015)
  • G. Yamahata, K. Nishiguchi, A. Fujiwara. Nat. Commun., 5, 1 (2014)
  • G.C. Tettamanzi, R. Wacquez, S. Rogge. New J. Phys., 16, 63036 (2014)
  • D.E. Presnov, V.V. Shorokhov, S.V. Amitonov, A.S. Trifonov, V.A. Krupenin. The 8th General Meeting of ACCMS-VO (Tohoku University, Japan, 2013) PS-3
  • P.L. Grande, F.C. Zawislak, D. Fink, M. Behar. Nucl. Instr. Meth. B, 61, 282 (1991)
  • P.L. Grande, P.F.P. Fichtner, M. Behar, F.C. Zawislak. Nucl. Instr. Meth. B, 35, 17 (1988)
  • A. Naas, E. Ntsoenzok, D. De Sousa-Meneses, B. Hakim, A. Beya-Wakata. Nucl. Instr. Meth. B, 339, 46 (2014)
  • W.J. Lakshantha, V.C. Kummari, T. Reinert, F.D. McDaniel, B. Rout. Nucl. Instr. Meth. B, 332, 33 (2014)
  • J.F. Ziegler, M.D. Ziegler, J.P. Biersack. Nucl. Instr. Meth. B, 268, 1818 (2010)
  • J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Matter (Pergamon, N.Y., 1985)
  • A. Fohl, R.M. Emrick, H.D. Carstanjen. Nucl. Instr. Meth. B, 65, 335 (1992)
  • T. Chunyu, X. Yueyuan, Y. Hong, S. Xiufang. Nucl. Instr. Meth. B, 42, 1 (1989)
  • Д.С. Королев, А.Н. Михайлов, А.И. Белов, В.К. Васильев, Д.В. Гусейнов, Е.В. Окулич, А.А. Шемухин, А.В. Пирогов, Д.А. Павлов, Д.И. Тетельбаум, С.И. Суродин, Д.Е. Николичев, А.В. Нежданов. ФТП, 50, 274 (2016)
  • L. Himics, S. Toth, M. Veres, A. Toth, M. Koos. Appl. Surf. Sci., 328, 577 (2015)
  • W.J. Lakshantha, M.S. Dhoubhadel, T. Reinert, F.D. McDaniel, B. Rout. Nucl. Instr. Meth. B, 365, 114 (2015)
  • M. Ishimary. Nucl. Instr. Meth. B, 258, 490 (2007)
  • А.А. Шемухин, П.Н. Черных, В.С. Черныш, Ю.В. Балакшин, А.В. Назаров. Прикладная физика, N 5, 59 (2013)
  • А.А. Шемухин, Ю.В. Балакшин, П.Н. Черных, В.С. Черныш. Поверхность. Рентген., синхротрон. и нейтрон. исслед., N 4, 25 (2013)
  • M. Nastasi, J.W. Mayer, Y. Wang. Ion beam analysis, fundamentals and applications (Boca Raton, FL, CRC Press, 2015).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.