Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Влияние температуры осаждения на структуру и оптические свойства пленок селенида цинка, полученных ВЧ магнетронным распылением

DOI: 10.21883/FTP.2017.06.44567.8455

Кобзиев В.Ф.¹, Закирова P.М.¹, Костенков Н.В.¹, Крылов П.Н.¹, Федотова И.В.¹

¹Удмуртский государственный университет, Ижевск, Россия Udmurt State University, Izhevsk, Russia

Email: ftt@udsu.ru

Поступила в редакцию: 22 ноября 2016 г.

Выставление онлайн: 20 мая 2017 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Исследовано влияние температуры конденсации на скорость роста, структуру и оптические свойства полученных ВЧ магнетронным распылением пленок селенида цинка. С увеличением температуры осаждения толщина пленок уменьшается. Поликристаллические пленки селенида цинка состоят из смеси кубической и гексагональной фаз с преобладанием кубической фазы. Показана корреляция величины показателя преломления и размеров кристаллитов. DOI: 10.21883/FTP.2017.06.44567.8455

E.M. Софронова, Д.С. Софронов, В.В. Стариков, Д.И. Курбатов, А.С. Опанасюк, П.В. Матейченко. Журн. наноэлектронной физики, 4 (4), 04016 (5cc) (2012)
M. Aveu, J.S. Prener. Physics and Chemistry of II-VI Compounds (Amsterdam, North-Holland Publ. Co., 1967) p. 278
Физика соединений A^IIB^VI, под ред. А.Н. Георгобиани, М.К. Шейнкмана (М., Наука, 1986) с. 368
С.П. Апанасевич, О.В. Гончарова, Ф.В. Карпушко, Г.В. Синицин. ЖПС, 47, 200 (1987)
А.В. Хомченко. ЖТФ, 67 (9), 60 (1997)
Р.Р. Сайфутяров, А.В. Хомяков, Е.Н. Можевитина, И.Х. Аветисов. Успехи в химии и хим. технологии, XXVIII (6), 28 (2014)
А.Н. Брызгалов, В.В. Мусатов, В.В. Бузько. ФТП, 38 (3), 322 (2004)
Е.Г. Гончаров, Г.В. Семенов, Я.А. Угай. Химия полупроводников (Воронеж, ВГУ, 1995) с. 270
В.П. Зломанов, А.В. Новоселова. P-T-X-диаграммы состояния систем металл--халькоген (М., Наука, 1987) с. 207
И.В. Седова. Автореф. канд. дис. (СПб., РАН ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2006)
Ю.К. Ежовский, О.В. Денисова. Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов: Учеб. пособие (СПб., СЗТУ, 2005) с. 80
А.А. Дунаев, Е.А. Гарибин, П.Е. Гусев, А.А. Демиденко, И.Л. Егорова, М.А. Крутов, И.А. Миронов, А.Н. Чиванов. Междунар. конф. Прикладная оптика" (Санкт-Петербург, 2012) ч. 2, с. 212
Н.Н. Мельник, В.С. Виноградов, И.В. Кучеренко, Г. Карчевски, О.С. Пляшечник. ФТТ, 51 (4), 787 (2009)
Физика и химия соединений A^IIB^VI, под ред. С.А. Медведева (М., Мир, 1970) с. 624
В.В. Куколь, Е.Е. Лакин, В.Д. Путятин. Монокристаллы и техника (Харьков, ВНИИ Монокристалл, 1975) вып. 12, с. 14
S.K. Lok, G. Wang, Y. Cai, N. Wang, Y.C. Zhong, K.S. Wong, I.K. Sou. J. Cryst. Growth, 311 (9), 2630 (2009)
C.-W. Huang, H.-M. Weng, Y.-L. Jiang, H.-Y. Ueng. Thin Sol. Films, 517, 3667 (2009)
Zhengbang Pi, Xiaolu Su, Chao Yang, Xike Tian, Fang Pei, Suxin Zhang, Jianhua Zheng. Mater. Res. Bulletin, 43, 1966 (2008)
Chongfeng Guo, C.H. Choy, Dexiu Huang, Yueping Fang. J. Phys. Chem. Sol., 67 (4), 818 (2006)
С.С. Алалыкин, Р.М. Закирова, В.Ф. Кобзиев, П.Н. Крылов, И.В. Федотова. Хим. физика и мезоскопия, 17 (3), 360 (2015)
В.В. Брус, М.Н. Солован, Э.В. Майструк, И.П. Козярский, П.Д. Марьянчук, К.С. Ульяницкий, J. Rappich. ФТТ, 56 (10), 1886 (2014)
C.С. Алалыкин, П.Н. Крылов. ПТЭ, 2, 149 (2005)
Я.С. Уманский, Ю.А. Скаков, А.Н. Иванов, Л.Н. Расторгуев. Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия (М., Металлургия, 1982) c. 632
С.С. Горелик, Л.Н. Расторгуев, Ю.А. Скаков. Ренгенографический и электронографический анализ (М., Металлургия, 2002)
И.Г. Неизвестный, С.П. Супрун, В.Н. Шумский. Автометрия, 4, 34 (1994)
В.К. Вайнштейн. Структурная электронография (М., Изд-во АН СССР, 1956) с. 341
Е.Н. Котликов, Ю.А. Кузнецов, Н.П. Лавровская, А.Н. Тропин. Науч. приборостроение, 18 (3), 32 (2008)
Термодинамика оксидов, под ред. И.С. Куликов: Cправ. изд. (М., Металлургия, 1986) с. 344
Чан Конг Кхань. Автореф. канд. дис. (М., Российский хим.-технол. ун-т им. Д.И. Менделеева, 2016)
S. Venkatachalam, Y.L. Jeyachandran, P. Sureshkumar, A. Dhayalraj, D. Mangalaraj, Sa.K. Narayandass, S. Velumani. Mater. Characterization, 58, 794 (2007)
Л.К. Водопьянов, Н.Н. Мельник, Ю.Г. Садофьев. ФТП, 33 (3), 282 (1999)
D. Nesheva, M.J. vScepanovic, S. Avskrabic, Z. Levi, I. Bineva, Z.V. Popovic. Acta Phys. Polon. A, 116 (1), 75 (2008).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель