Экспериментально получены значения величин термоэдс, слоевого сопротивления и коэффициента теплопроводности наноразмерного слоя MnxSi1-x и сверхрешетки MnxSi1-x/Si на кремнии в зависимости от температуры в диапазоне T=300-600 K. Обсуждается роль наноразмерной пленки и подложки в формировании термоэлектрического эффекта. Оценена величина термоэлектрической добротности одиночного слоя силицида марганца, сверхрешетки и системы слой/подложка. Наибольшее значение добротности ZT=0.59±0.06 получено для Mn0.2Si0.8 при T=600 K. DOI: 10.21883/FTP.2017.11.45090.04
A.J. Minnich, M.S. Dresselhaus, Z.F. Ren, G. Chen. Energy \& Environ. Sci., 2 (5), 466 (2009)
L.D. Ivanova, A.A. Baikov. J. Thermoelectricity, 3, 60 (2009)
Е.С. Демидов, Е.Д. Павлова, А.И. Бобров. Письма ЖЭТФ, 96 (11), 790 (2012)
Е.С. Демидов, В.В. Подольский, В.П. Лесников, Е.Д. Павлова, А.И. Бобров, В.В. Карзанов, Н.В. Малехонова, А.А. Тронова. Письма ЖЭТФ, 100 (11), 818 (2014)
C. Gayner, K.K. Kar. Prog. Mater. Sci., 83, 330 (2016)
И.В. Ерофеева, М.В. Дорохин, В.П. Лесников, А.В. Здоровейщев, А.В. Кудрин, Д.А. Павлов, Ю.В. Усов. ФТП, 50 (11), 1473 (2016)
А.Т. Бурков, А.И. Федотов, А.А. Касьянов, Р.И. Пантелеев, Т. Накама. Науч.-техн. вестн. инф. технологий, механики и оптики, 15 (2), 173 (2015)
D.G. Cahill, H.E. Fischer, T. Klitsner, E.T. Swartz, R.O. Pohl. J. Vac. Sci. Tech. A, 7 (3), 1259 (1989).
K. Maize, Y. Ezzahri, X. Wang, S. Singer, A. Majumdar, A. Shakouri. 24 th Annual IEEE Semiconductor Thermal Measurement and Management Symposium (16--20 March; San Jose, Ca, USA), 185 (2008)
D.G. Cahill. Rev. Sci. Instrum, 61 (12), 802 (1990)
S.-M. Lee, D.G. Cahill. J. Appl. Phys., 81 (6), 2590 (1997)
T. Borca-Tasciuc, D.W. Song, J.R. Meyer, I. Vurgaftman, M.-J. Yang, B.Z. Nosho, L.J. Whitman, H. Lee, R.U. Martinelli, G.W. Turner, M.J. Manfra, G. Chen. J. Appl. Phys., 92 (9), 4994 (2002)
C.-K. Liu, C.-K. Yu, H.-C. Chien, S.-L. Kuo, C.-Y. Hsu, M.-J. Dai, G.-L. Luo, S.-C. Huang, M.-J. Huan. J. Appl. Phys., 104 (11), 114301 (2008)
CRC Handbook of Thermoelectrics, ed. by D.M. Rowe (N.Y., CRC Press., 1995)
M.I. Fedorov. J. Thermoelectricity, 2, 51 (2009).