Исследовано влияние технологических параметров на селективное легирование марганцем арсенид-галлиевых гетероструктур, изготавливаемых сочетанием методов МОС-гидридной эпитаксии и импульсного лазерного нанесения. В качестве этих параметров использованы: содержание примеси в delta-слое марганца и температура формирования структуры. Установлено, что при температуре выращивания ~ 400oC и содержании примеси не более 0.2-0.3 монослоя изготовленные структуры демонстрируют наибольшую электрическую активность и обладают ферромагнитными свойствами. Изучение выращенных структур методами спектроскопии отражения, высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии показало, что применение указанных выше условий при импульсном лазерном нанесении позволяет получать арсенид-галлиевые структуры, которые имеют хорошее кристаллическое качество, а марганец в таких структурах сосредоточен в тонком (7-8 нм) слое без существенного диффузионного размытия и сегрегации. DOI: 10.21883/FTP.2017.11.45092.06
A.M. Nazmul, S. Sugahara, M. Tanaka. J. Cryst. Growth, 251, 303 (2003)
О.В. Вихрова, Ю.А. Данилов, М.В. Дорохин, Б.Н. Звонков, И.Л. Калентьева, А.В. Кудрин. Письма ЖТФ, 35 (14), 8 (2009)
B.N. Zvonkov, O.V. Vikhrova, Yu.A. Danilov, P.B. Demina, M.V. Dorokhin, V.V. Podol'skivi, E.S. Demidov, Yu.N. Drozdov, M.V. Sapozhnikov. J. Optic. Techn., 75, 389 (2008)
R.T. Blunt. CS MANTECH Conference, Vancouver, British Columbia, Canada, 59 (2006)
О.В. Вихрова, Ю.А. Данилов, М.Н. Дроздов, Б.Н. Звонков, И.Л. Калентьева. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 6, 51 (2012)
F. Lukes, S. Gopalan, M. Cardona. Phys. Rev. B, 47 (12), 7071 (1993)
T. Wojtowicz, J.K. Furdyna, X. Liu, K.M. Yu, W. Walukiewicz. Physica E, 25, 171 (2004)
K.S. Burch, J. Stephens, R.K. Kawakami, D.D. Awschalom, D.N. Basov. Phys. Rev. Lett., 70, 205208 (2004)
F. Matsukura, H. Ohno, T. Dietl. Handbook of Magnetic Materials, 14, 1 (2002)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.