"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Электрическая активность протяженных дефектов в мультикремнии
Пещерова С.М.1, Якимов Е.Б.2, Непомнящих А.И.1, Павлова Л.А.1, Феклисова О.В.2, Пресняков Р.В.1
1Институт геохимии им. А.П. Виноградова Сибирского отделения Российской академии наук, Иркутск, Россия
2Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Email: spescherova@mail.ru
Поступила в редакцию: 9 февраля 2017 г.
Выставление онлайн: 20 января 2018 г.

Проведены исследования по распределению времени жизни неравновесных носителей заряда (tau) в мультикристаллическом кремнии (мультикремнии), выращенном методом Бриджмена из высокочистого рафинированного металлургического кремния. Выявлены закономерности изменения tau, обусловленные особенностями зеренно-граничной структуры слитков. Границы зерен, дислокации и примесные микровключения исследовали методами рентгеноспектрального электронно-зондового микроанализа (РСМА/EPMA) и электронной микроскопии (РЭМ/SEM) с применением селективного кислотного травления. Электрическую активность протяженных дефектов регистрировали методом наведенного тока (НТ/EBIC). DOI: 10.21883/FTP.2018.02.45454.8546
  • Б.Г. Грибов, К.В. Зиновьев. Неорг. матер., 39 (7), 775 (2003)
  • А.И. Непомнящих, Р.В. Пресняков, И.А. Елисеев, Ю.В. Сокольникова. Письма ЖТФ, 37 (15), 103 (2011)
  • С.М. Пещерова, А.И. Непомнящих, Л.А. Павлова, И.А. Елисеев, Р.В. Пресняков. ФТП, 48 (4), 492 (2014)
  • С.М. Пещерова, А.И. Непомнящих, Л.А. Павлова. Письма ЖТФ, 40 (22), 30 (2014)
  • С.М. Пещерова, Е.Б. Якимов, А.И. Непомнящих, Л.А. Павлова, О.В. Феклисова. ФТП, 49 (6), 741 (2015)
  • S. Tsurekawa, K. Kido, T. Watanabe. Mater. Sci. Eng. A, 462, 61 (2007)
  • J. Chen, T. Sekiguchi, D. Yang, F. Yin, K. Kido, S. Tsurekawa. J. Appl. Phys., 96, 5490 (2004).
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.