Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Поверхностные наноструктуры, формирующиеся на ранних стадиях металл-стимулированного химического травления кремния. Оптические свойства наночастиц серебра
Переводная версия: 10.1134/S1063782618030235 
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Email: piliouguina@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 11 июля 2017 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2018 г.
-3 Работа, состоящая из двух частей, посвящена исследованию наноструктур, формирующихся в 3-стадийном процессе металл-стимулированного химического травления кремния. В первой части исследован процесс химического осаждения слоя самоорганизующихся на поверхности кремниевой пластины наночастиц Ag (первая стадия металл-стимулированного химического травления). Этот слой является, с одной стороны, катализатором для проведения последующего травления кремния, а с другой - служит своеобразной маской для формирования той или иной топологии формирующихся нанонитей Si. С помощью растрового электронного микроскопа исследована морфология слоя наночастиц серебра (толщиной 40-60 нм), а с помощью спектральной эллипсометрии (lambda=250-900 нм) измерены спектры эллипсометрических углов нанослоев Psi и Delta. На основе этих спектров определена комплексная диэлектрическая функция полученного слоя Ag с характерным пиком плазмонного резонанса в УФ-части спектра. Исследования оптических свойств слоев нанонитей Si, формирующихся на ранних стадиях металл-стимулированного химического травления, будут опубликованы во второй части работы (в отдельной статье). DOI: 10.21883/FTP.2018.03.45617.8684
- V. Schmidt, H. Riel, S. Senz, S. Karg, W. Riess, U. Gоsele. Small, 2, 85 (2005)
- F. Priolo, T. Gregorkiewicz, M. Galli, T.F. Krauss. Nature Nanotechnology, 9, 19 (2014)
- B. Tian, X. Zheng, T.J. Kempa, Y. Fang, N. Yu, G. Yu, J. Huang, C.M. Lieber. Nature, 449, 885 (2007)
- F. Patolsky, C. Zheng, C.M. Lieber. Nature Protoc., 1, 1711 (2006)
- K. Booker, S. Rahman, T-K. Chong, R. Mankelow, K. Weber, A. Blakers. IEEE J. Photovolt., 5, 2156 (2015)
- W. McSweeney, H. Geaney, C. O'Dwyer. Nano Research, 8, 1395 (2015)
- Min Lv, Shao Su, Yao He, Qing Huang, Wenbing Hu, Di Li, Chunhai Fan, Shuit-Tong Lee. Adv. Mater., 22, 5463 (2010)
- Hee Han, Zhipeng Huang, Woo Lee. Nanotoday, 9, 271 (2014)
- Ellipsometry at the Nanoscale, ed. by M. Losurdo, K. Hingerl (N.Y.--Dordrecht--London, Springer, 2013) p. 1
- T.W.H. Oates, H. Sugime, S. Noda. J. Phys. Chem., 113, 4820 (2009)
- S. Marsillac, S.A. Little, R.W. Collins. Thin Sol. Films, 519, 2936 (2011)
- T.W.H. Oates, H. Wormeester, H. Arwin. Progr. Surf. Sci., 86, 328 (2011)
- В.А. Швец, Е.В. Спесивцев, С.В. Рыхлицкий, Н.Н. Михайлов. Рос. нанотехнол., 4, 201 (2009)
- Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1981) c. 316. [Пер. с англ. R.M.A. Azzam, N.M. Bashara. Ellipsometry and Polarized Light (Amsterdam--N.Y.--Oxford, North-Holland Publ. Co, 1977).]
- Handbook of Optical Constants of Solids, ed. by E.D. Palik (N.Y., Academic Press, 1985) p. 804
- D.E. Aspnes. Thin Sol. Films, 89, 249 (1982)
- A.J. McAlister, E.A. Stern. Phys. Rev., 132 (4), 1599 (1963)
- В.В. Климов. Наноплазмоника (М., Физматлит, 2009) гл. 4, с. 69.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
